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MEMS技术与IC技术的主要差别(转）
miracle 发表于: 2010-5-21 09:22 来源:? 半导体技术天地
与传统的IC器件相比有重大差别。从工艺上看，尽管MEMS技术是在集成电路（IC）技术的基础上发展起来的，MEMS技术沿用了许多IC制造工艺。 ? ? 经过几十年的研究与开发，MEMS器件与系统的设计及制造工艺逐步成熟，但产业化、市场化的MEMS器件的种类并不多，还有许多MEMS仍未能大量走出实验室，充分发挥其在军事与民品中的潜在应用，还需要研究和解决许多问题。究其原因，在于MEMS器件是属于多域值器件，与传统的IC器件相比有重大差别。从工艺上看，尽管MEMS技术是在集成
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