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? 缺点： ? 伺服控制和速度规划分开实现，无法用速度规划的信息做前馈控制，伺服响应较慢，单轴跟随误差大 ? 各轴伺服控制分开实现，无法自动实现各轴伺服响应的匹配，得到高精度的轨迹控制。 ? 无法补偿反向摩擦力 ? 无法主动消除轨迹误差 ? 无法进行耦合控制，实现高同步的龙门控制 减小单轴跟随误差对减小轮廓误差有作用， 但是也有很多限制。例如上图中，同时减小 XY 的跟随误差后，其轮廓误差并没有明显减 少，反倒有可能增大。平且一味的减少单轴 跟随误差还有可能导致系统太灵敏而不稳定。 变增益交叉耦合控制： 以减小轨迹误差为目标的控制算法 圆心（ X0 ， Y0 ） R P* (Rx ， Ry) P (Px ， Py) Ey Ex θ θ Y X ε ? 直线电机优点（无铁芯无刷直线电机） – 高精度：（无传动误差，高分辨率光栅尺，全闭环控制）定位 精度（± 4um ）、重复定位精度（± 1um ） – 高速度：高达 5m/s （ 300m/min ） – 高加速度：可达 5G – 高刚性（动态响应快），直线电机系统的单轴跟踪误差比传统 旋转电机可以小 10 倍以上 – 无反向间隙 – 无磨损，寿命长 ? 直线电机及驱动器相关品牌 – 中国大陆：大族、华嶺、维纳、同日等 – 中国台湾： Hiwin 等 – 美国： Parker 、 Copley 、 GlenTek 等 – 以色列： Elmo 、 Megafabs – 德国：西门子、路斯特（ LST ）等 – 日本：安川、松下等 – 新加坡： PBA 直线电机选型（引用华嶺机电资料）
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