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MEMS若干动力学问题研究
概要(Outline)
微机电系统的基本概况
MEMS动力学问题研究
微转子动力学问题研究
若干动力学问题的研究
MEMS动力学研究展望
1 微机电系统的基本概况
1.1 MEMS基本概念
1.2 MEMS基本模型
1.3 MEMS历史回顾
1.4 MEMS加工技术
1.5 MEMS研究成果
1.6 MEMS应用现状
1.7
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