12薄膜分析技术.pdf

薄膜技术-11 薄膜分析技术 主要内容 薄膜厚度的测量 薄膜形貌和结构的表征 薄膜成分的分析 性能的测量 薄膜厚度的测量 SEM横截面观察 台阶法 石英晶体振荡器法 光学测量 其他 SEM横截面观察 TiN薄膜厚度测量 利用高分辨扫描电镜直接测量薄膜横截面 SEM横截面观察 特点: 台阶仪 直观 可直接测量真实的几何厚度 需要良好的导电性 薄膜厚度的测量 SEM横截面观察 台阶法 石英晶体振荡器法 光学测量 其他 台阶法 直径很小的触针滑过被测薄膜的表面，同时记 录下触针在垂直方向的移动情况并画出薄膜表 面轮廓. 台阶法 直径很小的触针滑过被测薄膜的表面，同时记 录下触针在垂直方向的移动情况并画出薄膜表 面轮廓. 台阶法 直径很小的触针滑过被测薄膜的表面，同时记 录下触针在垂直方向的移动情况并画出薄膜表 面轮廓. 台阶法 h 直径很小的触针滑过被测薄膜的表面，同时记 录下触针在垂直方向的移动情况并画出薄膜表 面轮廓. 台阶法 特点: 台阶仪 直观  可直接表示几何厚度与表面的不均匀 精度高  原子力显微镜(埃级), 台阶仪(纳米级)  校验其他膜厚测试方法的测试结果 台阶法 特点: 台阶仪 不适用软性膜  划出沟槽，产生误差 需事先制备带台阶的薄膜样品 只能测量制成的薄膜，不能实时监控 薄膜厚度的测量 SEM横截面观察 台阶法 石英晶体振荡器法 光学测量 其他 石英晶体振荡器法 石英振荡器 石英晶体振荡器法 石英片厚度的微小变 化Δh 导致固有频率 q 变化 h m q f  f 0  f 0 h  Ah q 0 q 石英振荡器 Δm石英片的质量增加 Ρ 石英片密度 0 A 石英片的面积 石英晶体振荡器