JJF (沪苏浙皖) 4001-2020 微纳米线间隔标准样板校准规范.pdf

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2021-02-23 发布于广西
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附件1 JJF(沪苏浙皖) 沪苏浙皖地方计量校准规范规程 JJF （沪）4001－2020 微纳米线间隔标准样板校准规范 CalibrationSpecificationforMicro/Nano-PitchStandards 2020－X－X发布 2020－X－X实施上海市市场监督管理局江苏省市场监督管理局发布浙江省市场监督管理局安徽省市场监督管理局 JJF(沪苏浙皖）4001-2020 微纳米线间隔标准样板校准规范 JJF （沪苏浙皖）4001－2020 CalibrationSpecificationfor Micro/Nano-Pitch Standards 归口单位：上海市市场监督管理局江苏省市场监督管理局浙江省市场监督管理局安徽省市场监督管理局主要起草单位：上海市计量测试技术研究院同济大学参加起草单位：中国计量科学研究院本规范由上海市计量测试技术研究院负责解释 JJF(沪苏浙皖）4001-2020 本规范主要起草人：傅云霞（上海市计量测试技术研究院）程鑫彬（同济大学）雷李华（上海市计量测试技术研究院）参加起草人：高思田（中国计量科学研究院）魏佳斯（上海市计量测试技术研究院） JJF(沪苏浙皖）4001-2020 目录 II 引言………………………………………………………………………………（） ·· 1 范围…………………………………………………………………………… （1） ·· 2 引用文献……………………………………………………………………… （1） ·· 3 术语…………………………………………………………………………… （1） ·· 4 概述…………………………………………………………………………… （1） ·· 5 计量特性……………………………………………………………………… （2） 5.1 平均线间隔…………………………………………………………………（2） 5.2 二维线间隔的正交性………………………………………………………（3） 5.3 线间隔均匀性………………………………………………………………（3） ·· 6 校准条件……………………………………………………………………… （3） 6.1 环境条件……………………………………………………………………（3） 6.2 测量标准及其他设备………………………………………………………（3） ·· 7 校准项目和校准方法………………………………………………………… （3） 7.1 平均线间隔…………………………………………………………………（3） 7.2 二维栅格线的正交角度……………………………………………………（4） 7.3 线间隔均匀性………………………………………………………………（5） ·· 8 校准结果的表达……………………………………………………………… （6） ·· 9 复校时间间隔…………………………………………………………………