空气轴承精细铜管内表面凹槽的微加工.docx

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2021-03-16 发布于天津
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文档可自由复制编辑空气轴承精细铜管内表面凹槽的微加工摘要激光扫描及光刻技术在小管径管道内表面上的应用曾被人在加工空气轴承精密凹槽时研究过禾用激光直写及光刻技术和后续的电解蚀刻技术在内径为毫米的铜管内表面上精确地形成一道预定宽度为微米的狭长带这样就产生了凹槽将管道切割制造成轴承套管然后带有空气轴承套管的轴就加工完成了在其中插入一根空心铝合金轴轴就由安置在两端的空气轴承和电磁推力轴承来支撑然后通过鼓入空气轴可以在超过的高转速下平稳旋转应用传统加工技术难以在这种精细管道的内表面上形成精确的狭长状凹槽研

word word文档可自由复制编辑空气轴承精细铜管内表面凹槽的微加工摘要：激光扫描及光刻技术在小管径管道内表面上的应用，曾被人在加工空气轴承精密凹槽时研究过。禾U 用激光直写及光刻技术和后续的电解蚀刻技术在内径为 2毫米的铜管内表面上精确地形成一道预定宽度为 28微米的狭长带，这样就产生了凹槽。将管道切割制造成轴承套管，然后带有空气轴承套管的轴就加工完成了。在其中插入一根空心铝合金轴，轴就由安置在两端的空气轴承和电磁推力轴承来支撑。然后通过鼓入空气，轴可以在超过20000rpm的高转速下平稳旋转。应用传统加工技术，难以在这种精细管道的内表面上形成精确的狭长状凹槽。研究结果表明，在加