管式炉操作规程.pdf

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2021-03-25 发布于未知
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双温区真空管式炉操作规程一、开机 1. 打开电源。 2. 打开控气柜电源开关，预热15min，将流量显示仪调零。二炼气 1. 放置四个管堵，安装法兰。 o o 2. 左右温区均以3 C/min 升温至150 C，保温30min，加热的同时抽真空，抽真空时，法兰将抽气针阀打开一点，待真空压力表降至-0.05 MPa 时，分三个阶段完全打开（约3 圈）针阀，至-0.1 MPa 保持30min 。三、气体置换 1. 关闭抽气口法兰上的针阀，打开气瓶约至0.