高等结构分析:二. 透射电子显微镜.pdf

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(TEM) (TEM) 二. 透射电子显微镜 2. 透射电镜的结构 1. 电磁透镜 电子光学系统 2. 透射电镜的结构 真空系统真空系统 3. 透射电镜的成像原理 4. 透射电镜样品的制备 电源和控制系统 高压电源、透镜电源、真空系统电 源、控制记录系统等其它电器电源 5. 电子衍射 1 2 (TEM) (TEM) 镜筒的内部结构 电子光学系统 照明系统 电子枪、聚光镜 成像系统成像系统 物镜、中间镜、投影镜 记录系统 荧光屏、照相装置、 计算机数据处理系统 3 4 (TEM) 电子枪 电子枪的种类直接影响透射电子显微镜的分辨率 热发射: 发夹形钨丝灯丝, 点灯丝, LaB6单晶灯丝 有效光源 钨灯丝 LaB6单晶 发射角或发散角: 最小交叉截面:椭圆形 电子束与主轴的夹角 5 6

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