高等结构分析：第二讲 电子显微镜原理与应用简介.pdf

显微分析技术系列讲座 显微分析技术 感知物体形貌的两种方式 2015-6-9 2 成像原理的共同特点： 成像原理的共同特点： 光源透过样品，直接放大成像 探针在样品表面光栅式扫描，间接成像 光学显微镜(OM) ： 扫描隧道显微镜(STM) ： （可见光光源）光束经玻璃透镜放大成像 扫描探针为锐利的钨丝针尖 透射电子显微镜(TEM) ： 原子力显微镜(AFM) ： 扫描探针为连接在灵敏的微悬臂上的Si 或Si N （电子枪光源）电子束经电磁透镜放大成像 3 4 材料的锥形针尖 3 4 第一讲电子显微镜的基本原理 光学显微术(OM) 1. 理想几何光学 透射电子显微术(TEM) 2. 电子光学与电磁透镜 扫描电子显微术(SEM) 3. 电子显微镜的结构 扫描探针显微术(SPM) 4. 电子像的衬度 5 6 1 球差引起的散焦斑与衍射引起的埃利斑大小相当时 光镜与透射电镜的光学成像部分的比较 3/4 1/4 rmin ~  Cs 基本光学原理相似，都属于 远小于 理论极限! 光学放大仪器. 磁透镜的球差系数，一般透射电镜C  3mm, r  2.5~3Å