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微机电系统;引 言;;微机电系统/微电子机械系统 Micro-Electro-Mechanical Systems
微机械:Micro-machine
微系统:Micro-System;MEMS技术;MEMS — 微小型、智能、集成、高可靠;A-公司生产的微加速度计MEMS芯片;MEMS在航空、航天、汽车、生物医学、环境监控、军事以及几乎人们接触到的所有领域中都有着十分广阔的应用前景
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