晶体硅太阳能电池的丝网印刷技术详解.pdf

晶体硅太阳能电池的丝网印刷技术详解 生产晶体硅太阳能电池最关键的步骤之一是在硅片的正面和背面制造非常精细的电路， 将光 生电子导出电池。 这个金属镀膜工艺通常由丝网印刷技术来完成 —— 将含有金属的导电浆料 透过丝网网孔压印在硅片上形成电路或电极。 典型的晶体硅太阳能电池从头到尾整个生产工 艺流程中需要进行多次丝网印刷步骤。通常，有两种不同的工艺分别用于电池正面 (接触线 和母线 )和背面（电极 /钝化和母线）的丝网印刷。 【表 1】 表 1：晶体硅太阳能电池的制造需要进行多次丝网印刷步骤。应用材料 公司 Baccini 产品可以帮助实现绿色框中的步骤。 多年来，太阳能丝网印刷设备在精度和自动化方面有了很大进步， 具备 了在微米级尺寸上重复进行多次印刷的能力。这一发展开创了全新的先进应用， 如双重印刷和选择性发射极金属镀膜。 Baccini 公司在 20 世纪 70 年代在微电子 领域开发了丝网印刷技术， 并在 20 世纪 80 年代将这一技术扩展到太阳能金属镀 膜领域。今天， Baccini 公司已成为应用材料公司 Baccini 集团，以多项先进技 术引领业界的发展。 基本的太阳能丝网印刷 印刷过程从硅片放置到印刷台上开始。 非常精细的印刷丝网固定在网框 上，放置在硅片上方； 丝网封闭了某些区域而其它区域保持开放， 以便导电浆料 能够通过【图 2 】。硅片和丝网的距离要严格地控制（称为印刷间隙）。由于正 面需要更加纤细的金属线， 因此用于正面印刷的丝网其网格通常比用于背面印刷 的要细小得多。 表 2: 印刷丝网上包含打开和闭合的区域，通过打开的区域，导电浆料 可以被印刷到硅片上。 把适量的浆料放置于丝网之上， 用刮刀涂抹浆料， 使其均匀填充于网孔 之中。刮刀在移动的过程中把浆料通过丝网网孔挤压到硅片上【图 3】。这一过 程的温度，压力，速度和其他变量都必须严格控制。 表 3：在丝网一端放置导电浆料，用刮刀在将浆料涂抹于丝网，并从网 孔中挤压到硅片上。 每次印刷步骤后，硅片被放入烘干炉，使导电浆料凝固。接着，硅片被 送入另一个不同的印刷机， 在其正面或背面印制更多的线路。 所有印刷步骤完成 后，将硅片放入高温炉里烧结。 硅片正面和背面的印刷 每块太阳能电池的正面和背面都有通过丝网印刷淀积的导线【图 4】， 它们的功能是不同的。 正面的线路比背面的更细； 有些制造商会先印刷背面的导 电线，然后将硅片翻过来再印刷正面的线路， 从而最大程度地降低在加工过程中 可能产生的损坏。在正面（面向太阳的一面），大多数晶体硅太阳能电池的设计 都采用非常精细的电路 （“手指线”）把有效区域采集到的光生电子传递到更大 的采集导线——“母线”上， 接着再传递到组件的电路系统中。 正面的手指线要 比背面的线路细得多（窄到 80 μm）。正因为如此，正面的印刷步骤需要更高的 精度和准确性。 图 4 ：印刷后硅片正面会有大小不同的导线， 用来从有效区域采集电能。 . 硅片的背面和正面的印刷要求是不同的， 技术上也不那么严格。 背面印 刷的第一步工序是淀积一层以铝为基础的导电材料， 而不是非常细的导电栅。