IC工艺技术1引言和硅衬底.pptx

集成电路工艺技术;集成电路工艺技术讲座第一讲;引言;集成电路技术发展趋势;IC技术发展趋势(1)特征线宽随年代缩小;IC技术发展趋势(1)特征线宽随年代缩小;IC技术发展趋势(1)集成度不断提高－摩尔定律;IC技术发展趋势(2)硅片大直径化;IC技术发展趋势(3)CPU运算能力;IC技术发展趋势(4)结构复杂化　功能多元化;IC技术发展趋势(5)芯片价格不断降低;MOSFET等比例缩小;基本长沟道MOSFET器件;短沟道效应;短沟道效应;MOSFET等比例缩小示意;MOSFET等比例缩小规则;恒电场和恒电压缩小;双极型晶体管的等比例缩小;平面工艺－图形转移技术;平面工艺－制造二极管;平面工艺－制造二极管;集成电路单项工艺;工艺整合;双极集成电路工艺;双极集成电路工艺;双极集成电路工艺;双极集成电路工艺;双极集成电路工艺;双极集成电路工艺;双极集成电路工艺;双极集成电路工艺;双极集成电路工艺;集成电路制造环境;IC 制造环境(1)净化级别和颗粒数;净化室;IC制造环境(2) 超纯水;IC制造环境(3)超纯化学药品;讲座安排;硅衬底材料;硅衬底材料;从原料到抛光片;起始材料;CZ(直拉）法生长单晶;分凝系数;掺杂物质的分布;有效分凝系数;硅片准备;硅片的定位面;硅片的定位面／定位槽;金刚石晶体结构;晶体缺陷;点缺陷;位错;位错;滑移线;滑移线腐蚀坑;层错;OISF;ESF (Epi Stacking Faults)(111);ESF(Epi Stacking Faults)(100);氧沉淀 –氧在硅中固溶度;BMD (Bulk Micro Defects);缺陷的两重性;吸杂 (Gettering);DZ (Denuded Zone);抛光片主要技术指标;抛光片主要技术指标;9、春去春又回，新桃换旧符。在那桃花盛开的地方，在这醉人芬芳的季节，愿你生活像春天一样阳光，心情像桃花一样美丽，日子像桃子一样甜蜜。11月-2011月-20Sunday, November 1, 2020 10、人的志向通常和他们的能力成正比例。09:22:0709:22:0709:2211/1/2020 9:22:07 AM 11、夫学须志也，才须学也，非学无以广才，非志无以成学。11月-2009:22:0709:22Nov-2001-Nov-20 12、越是无能的人，越喜欢挑剔别人的错儿。09:22:0709:22:0709:22Sunday, November 1, 2020 13、志不立，天下无可成之事。11月-2011月-2009:22:0709:22:07November 1, 2020 14、Thank you very much for taking me with you on that splendid outing to London. It was the first time that I had seen the Tower or any of the other famous sights. If Id gone alone, I couldnt have seen nearly as much, because I wouldnt have known my way about. 。01 十一月 20209:22:07 上午09:22:0711月-20 15、会当凌绝顶，一览??山小。十一月 209:22 上午11月-2009:22November 1, 2020 16、如果一个人不知道他要驶向哪头，那么任何风都不是顺风。2020/11/1 9:22:0709:22:0701 November 2020 17、一个人如果不到最高峰，他就没有片刻的安宁，他也就不会感到生命的恬静和光荣。9:22:07 上午9:22 上午09:22:0711月-20