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超精密加工技术;精密及超精密加工 - 概念与范畴;超精密切削加工;超精密特种加工;超精密加工方法;.超精密研磨
超精密研磨包括机械研磨、化学机械研磨、浮动研磨、弹性发射加工以及磁力研磨等加工方法。超精密研磨的关键条件是几乎无振动的研磨运动、精密的温度控制、洁净的环境以及细小而均匀的研磨剂。超精密研磨加工出的球面度达0.025μm,表面粗糙度Ra达0.003μm;精密及超精密加工 - 超精密加工发展趋势;大型化、微型化。
由于航天航空等技术的发展，大型光电子器件要求大型超精密加工???备，如美国研制的加工直径为2.4～4m的大型光学器件超精密加工机床。同时随着微型机械电子、光电信息等领域的发
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