蔡司场发射扫描电镜培训.ppt

操作软件简介 数据区控制 激活后，屏幕上显示米字准线 操作软件简介 可以确定SEM Control 面板上的Fil I Extractor V的数据是否正确（图片数据为模拟，每台机器，灯丝数据都不同） 操作软件简介 常见问题：当使用AsB探头时，如果看不见影像。请先检查一下左图的设置是否在“high”,然后检查工作距离，EHT是否过低。光阑尺寸是否过小。 操作软件简介 样品台进行初始化。 常见问题：当水冷机出现不正常工作后，重新启动水冷机并使之正常工作。有时会发生样品台不能动，重新启动电镜，EM Server 提示样品台没有初始化。这时需要初始化样品台 操作软件简介 样品台位置的保存和调取 常见问题：调取样品台位置的时候，一定要确定是同一个样品台和样品。以防止不同样品台和样品尺寸的不同，会碰撞到仪器的探测器或物镜。 操作软件简介 连续中心点：激活此功能后，屏幕上出现一个十字座标。拖动十字座标到感兴趣点，点击鼠标左键。感兴趣点将自动移到屏幕中心。 操作软件简介 样品台导航器：显示样品座的位置和一些参数。请注意：这只代表样品座的位置。不是样品的位置。 操作软件简介 用户名和密码的设定：在Tools下来菜单中选择Administrator 操作软件简介 输入管理者的用户名和密码后出现以下对话框 选择Users中的New 操作软件简介 在下面填入相应的用户名，密码，保存目录和选择不同的权限 操作电镜的基本流程 将样品放入样品室，抽真空（抽真空时手推紧一下仓门）。真空度达到5.00e-005mbar以下时，可打开设定的高压，取像。 移动样品台，使样品在物镜正下方，调节样品和物镜之间的工作距离。选择需要的光阑和探头。放大倍率到最小。使用鼠标聚焦，调节光阑对中和像散。提高放大倍数，再聚焦，调节光阑对中和像散。如此类推，至需要的放大倍数。 用去除噪音的模式，取得高质量的图片保存到指定的硬盘目录中。 关闭高压，泄真空，取出样品。 蔡司场发射扫描电镜 操作培训 安全规则 设备的电源一定要确保持续和稳定。 当设备出现短路，起火等重大紧急故障时，切断设备电源和UPS电源。电源开关见下图红圈 安全规则 样品台的移动：当样品台移动的时候，一定要确保其不会碰撞到探头。（尤其是在样品台上升的过程中） 开关机操作说明 FESEM 主机的开机 首先将水冷机打开。确认控制面板上的3个灯亮（红圈中）。右侧的水机温度下降到左侧的设定温度。 检查水机后面的压力表的读数。 如果有压缩空气机的话，打开压缩空气机。确保输出压力达到6 bar。 开关机操作说明 FESEM 主机的开机 按下黄色的Standby按钮（设备的真空板和MPSU板启动）。 等待30秒后。 按下绿色的On按钮。设备的所有电路板启动 开关机操作说明 FESEM 主机的关机 按下黄色的Standby按钮（设备除真空和MPSU电路板外的所有电路板关闭电源）。 等待30秒后。 按下红色的Off按钮。设备的所有电路板关闭。 15分钟后关闭水冷机和压缩空气机。 开关机操作说明 注意事项： 开机以前，一定要提前把空调打开。让房间里的温度控制到指定要求。并很稳1－2小时。 当空调停机的时候，应立即关闭主机和水机！！ 操作软件简介说明 Smart软件的启动 双击桌面上的快捷键 或者在开始菜单中选择START PROGRAMS?? SMARTSEM ?? SMARTSEM USER INTERFACE 操作软件简介 软件启动后，自动对设备的硬件进行检测。当设备出现硬件问题时，软件将自动出现提示。 操作软件简介 自检完毕后，在EM server log on 对话框中输入用户名和密码，进入SmartSem软件。 操作软件简介 软件简介：SEM Control 面板（启动快捷键Ctrl＋g) 操作软件简介 点击此处，可以选择灯丝的开关和高压的开关 严禁擅自更改Fil I和Extractor V处的数值。如需更改，请先取得服务工程师的同意。 双击或者拉动滑块可以改变不同的EHT SEM Control: Gun 界面 操作软件简介 SEM control: Detector 面板 选择不同的探头 选择SE2 探头收集极电压值 选择两种不同探头的信号进行混合 混合信号时，两个探头的信号比例 调节图像的亮度 调节图像对比度 操作软件简介 SEM Control: Aperture 面板 选择不同的尺寸的光阑 激活此处，可进行光阑对中 光阑对中 灯丝对中 像散校准 电子束移动 高电流模式 观察六孔光阑的位置和形状 操作软件简介 SEM Control: Scan 面板 选择图像存储的分辨率 扫描速度 图像的冻结是以手动形式还是扫完整幅图片后 积分次数或者是平均次数 图像噪音去除的六