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2005 北大半导体试题
一、给出一组电容曲线(MIS 结构电容),根据图判断曲线之间的氧化层厚度
谁大谁小。另外还要求根据图判断掺杂浓度大小 (相比较)的问题。总的来
说,该题考查的是对MIS结构电容曲线的理解及MIS 结构电容的知识。
二、给出了一实验图,要求进行解释。该题考的是对MIS 结构电容低频、高频、
深耗尽等状态的理解。尤其注意高频与深耗尽间的不同之处。
三、有 PN 结,由P 区和N 区构成,N 区分为两部分,靠近P 区那部分的浓
度是剩下的N 区浓度的 ,N 区浓度低的那部分厚度为L,但是N 区的
空间电荷区长度大于L。
1、求PN 结的势垒是多少?
2、求其电场分布。
3、画出空间电荷区的电荷分布图(浓度分布)。(题中P 区浓度为A N ,
N 区浓度为D N/2 )
四、给出了间接复合过程图。1、要求详细说明甲乙丙丁这四个过程,及其大小
与哪些因素有关。为什么?2、根据复合速率表达式导出杂质能带分别位于
禁带上部和下部时平均自由时间的表达式 (每种分别有四种情况:强P、强
N、弱P、弱N)
五、以二维电子气模型求模式密度,并导出导带电子浓度表达式。
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