GC气柜钢瓶更换记录表.xlsVIP

Sheet1 气柜编号： A□ B□ 项次 操作/检查内容 执行状况 备注 是 否 前吹 操作人员: 检查人员: 日期: 时间: 确认供应侧在供应状态,且供应压力正常 确认排气纯度符合要求 确认钢瓶已达切换压力,残余压力: psi, 切边转换压力设置（未核实）psi, 残气钢瓶号码 . 确认PN2钢瓶压力=110Psi,若PN2钢瓶压力不足,需先确认正常后再执行以下步骤, 按屏幕提示，关闭钢瓶阀，打开GNBV阀. 按屏幕提示，关闭‘LCV阀,‘HPV阀已打开. 钢瓶更换 操作人员: 检查人员: 日期: 时间: 至钢瓶存储区领取欲更换之气体钢瓶(依先进先出原则),确认领用气体名称,有效期 执行钢瓶外观检查,并记录更换新钢瓶号码: . 钢瓶阀接头检查,PLI阀门检查 更换钢瓶 后冲吹 操作人员: 检查人员: 日期: 时间: 更换钢瓶后，点击确认键开始后冲吹。 保压 操作人员: 检查人员: 日期: 时间: 后冲吹结束，按确认键结束自动保压（时间为24Th） 记录HPT压力 psi, 记录LPT压力 psi, 填写钢瓶更换记录表后，结束操作，保存记录表. 操作人员: 确认人员: 日期: 时间: 负责人: 设备工程师: GC气柜钢瓶更换记录表 1.00 2.00 4.00 5.00 6.00 7.00 1.00 2.00 5.00 6.00 1.00 1.00 8.00 9.00 10.00