PVD加工工艺流程.doc

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PAGE PAGE 1 PVD加工工艺流程 一、前处理工艺:?? ? 1.来料抽检 2.电镀件过碱去油 ,清水清洗.4.过酸表面洁化 ,清水清洗5.丙酮+滑石粉清洗6.擦洗. 二、上挂 三、PVD处理工艺:? ? 1.烘烤:80摄食度 ??????????? 2.镀膜:? 真空抽到4.5-2帕 ?????????????????? ? 保持真空度2.8-1帕 ??????????????????? ? 成膜 四、出炉 五、下挂 六、全检 PVD简介 1. PVD的含义 — PVD是英文Physical Vapor Deposition的缩写,中文意思是“物理气相沉积”,是指在真空条件下

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