内层线路曝光作业指导书.doc

内层曝光作业指导书 PD-019 编 制： 日 期： 审 核： 日 期： 批 准： 日 期： 文件名称 质量管理体系程序文件 文件编号 PD-019 标 题 内层曝光作业指导书 页次 PAGE 1 OF 5 版本-修订 00 修 改 记 录 页 次 版 本 修 改 内 容 修 订 生效日期 受 控 文 件 保 管 者 记 录 序号 分发单位 文 件 作 废 时 回 收 记 录 文件份数 回收时间 销毁人 销毁时间 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 IATF16949:2016 质量管理体系文件 受控文件 严禁复印 1.0目的 规范、指导内层曝光操作员的生产操作，保证生产品质。 2.0范围 本文件适用于内层曝光岗位的生产操作、工艺维护和产品质量控制。 3.0职责 工艺研发部：负责制订修改机台作业参数，制定作业规范并协助处理生产质量异常。 维修部：负责对设备一级保养进行监督及二级保养之彻底执行，负责处理设备异常。 生产部：负责依研发部制定之作业规范及作业参数组织安排生产，并反馈处理品质异常。 品质部：负责依研发部之作业规范及作业参数对生产过程进行监督，并协助处理品质异常。 4.0作业内容 4.1工艺流程图说明及要求 4.1.1生产流程:洁菲林→菲林对位→赶气→曝光 4.1.2设备制程能力： 名称 型号/规格 厂家或供应商 设备制程能力 曝光灯管 LED 海圣 生产厚度：0.075~2.5mm 最大尺寸：546×622mm 最小尺寸：200×200mm 内层半自动曝光机 LED-HSPIKMC 海圣 4.2设备维护保养 无尘布蘸菲林清洁剂或酒精清洁曝光机身侧面、正面。频率：1次/班。 清洁显示器、曝光界面（特别是曝光玻璃上的四个死角）、曝光框、曝光框两侧平台。频率：1次/班。 清洁工具放置柜的外围及内部隔层。频率：1次/班。 擦拭清洁机外壳及行辘，拉出清洁机上的粘尘辘，用酒精清洁干净，并切换粘尘纸卷。 频率：1次/班。 清洁工作位旁的所有放板架。频率：1次/班。 用切下的粘尘纸粘去工作位附近地面的杂物。频率：1次/班。 所有垫条在使用前必须清洁干净。 频率：1次/班。 手动粘辘每4小时用酒精清洁一次，洁净房每班须吸尘1次。 曝光机台过滤网每半月清洁一次,每三个月更换。 4.3工艺参数表： 序号 项目 控制范围 测量方法 检查频率 备注 1 曝光尺 6-8 级盖膜 21 级曝光尺 1次/4H 上下灯曝光能量最大 误差值不能超过 1 格 2 曝光台温度 温度:21±2℃ 温度显示 1次/每班 3 底片真空度 650±50mmHg 压力表 1次/每班 4 框室真空 470±50mmHg 压力表 1次/每班 5 能量均匀性 ≥85% UV 能量计 1 次/月 6 曝光灯管使用寿命 ≤8000次 计数 连续 7 真空延迟时间 ≥12S 机器设定 1次/每班 4.4操作规范： 4.4.1机器操作程序: 开机程序: 开机前,检查区域环境清洁状况,并作好作业前准备工作,检查曝光机运行是否正常,清洁曝光机麦 拉及曝光玻璃,不允许有任何污点和胶渣。 打开气压阀,确定压力达到设定值0.6Kg/cm2以上。 将供应机台之总电源开关打开至 ON。 确定生产板曝光能量后,将对好位之板放入曝光框中,待真空达到650mmHg时用刮胶擦气,按下框 架前进键进入曝光机曝光,待完成曝光后再按下框架前进键,自动退出，拉曝光架,取出曝光板。 关机程序: 将曝光台面之生产底片及扳子卸下。 进入灯源操作画面,将点灯关闭,等待 10min 以上,关闭电源及气源开关。 4.4.2操作规范: 开工前进行岗位及机器的清洁工作、开工检查等，并填写“内层手动曝光机点检表”； 每班开工生产前须进行日常保养； 曝光尺测试4H/次,并认真填写“内层曝光尺记录表”，曝光尺测试板应显示曝光机编号、测试日期、 时间和曝光能量，且所做曝光尺应保留12H备查。曝光尺测试所用的菲林上应标注开始使用的时间,曝 光尺使用寿命为三个月。 按照要求装好菲林,并用酒精彻底清洁一次菲林,菲林两面都要清洁,用干净的无尘布擦拭一次,最后 用手动粘尘辘进行一次清洁后才可正式生产。 对于曝光后板，每LOT抽检是否有曝光偏，板边目标孔是否完整。 每套新菲林正式安排生产前,需先做一块试板,经二次元机测试菲林的图形尺寸与标准值相比在 ±1.5mil范围内才可以安排生产。对于放置超过24小时的菲林也需要进行测数，在控制范围内才可 以安排生产。批量生产过程中，每150PNL需安排测量蚀刻后尺寸（控制标准值±2.5mil）,超出