LED芯片制作流程.pptx

LED;报告内容;LED芯片结构;LED 制造过程;LED制程工艺;外延片制作 衬底 外延;可用LED衬底;GaAs衬底;蓝宝石Al2O3衬底;SiC衬底;Si衬底;Si衬底制备流程;外延生长; P、N极的分离表现为元素掺杂度的不同;外延生长方法;MOCVD;双气流MOCVD生长GaN装置;MOCVD;外延片;绿光外延片;管芯制作 蒸发 光刻 划片裂片 分拣; ;;外延片;甩胶：将少许光刻胶滴在外延片上，用匀胶台在高速旋转 后形成均匀的胶膜。 前烘：使光刻胶的溶剂挥发，用于改善光刻胶与样品表面的 粘附性。 曝光：用紫外光通过光刻板曝光，曝光的区域发生化学变化。;曝光原理图;手动曝光机;显影后的图形;掩膜板;显影后的图形;蒸发原理图; 白膜：宽度为16cm,粘性随温度的升. 高增加; ; 激光打在蓝宝石衬底上，所用激光为紫外光，波长为355nm。 ; 为了更好的把圆片裂开，需要让激光打在管芯轨道的中央位置，调节激光的焦距，使激光聚焦在片子上表面，激光的划痕深度尽量在25-30um。; 蓝膜：宽度22cm 倒膜时衬底朝上，有电极的一面朝下。;裂片前我们在片子上贴一层玻璃纸，防止裂片时刀对管芯的破坏。; 把裂片后直径为两英寸的片子扩成三英寸，便于后序的分拣工作 ;测试分拣;以上就是LED芯片制作的一般过程，不同厂家的芯片在制程上可能有一些差别;Thanks!;9、春去春又回，新桃换旧符。在那桃花盛开的地方，在这醉人芬芳的季节，愿你生活像春天一样阳光，心情像桃花一样美丽，日子像桃子一样甜蜜。7月-217月-21Tuesday, July 27, 2021 10、人的志向通常和他们的能力成正比例。17:17:3617:17:3617:177/27/2021 5:17:36 PM 11、夫学须志也，才须学也，非学无以广才，非志无以成学。7月-2117:17:3617:17Jul-2127-Jul-21 12、越是无能的人，越喜欢挑剔别人的错儿。17:17:3617:17:3617:17Tuesday, July 27, 2021 13、志不立，天下无可成之事。7月-217月-2117:17:3617:17:36July 27, 2021 14、Thank you very much for taking me with you on that splendid outing to London. It was the first time that I had seen the Tower or any of the other famous sights. If Id gone alone, I couldnt have seen nearly as much, because I wouldnt have known my way about. 。27 七月 20215:17:36 下午17:17:367月-21 15、会当凌绝顶，一览众山小。七月 215:17 下午7月-2117:17July 27, 2021 16、如果一个人不知道他要驶向哪头，那么任何风都不是顺风。2021/7/27 17:17:3617:17:3627 July 2021 17、一个人如果不到最高峰，他就没有片刻的安宁，他也就不会感到生命的恬静和光荣。5:17:36 下午5:17 下午17:17:367月-21