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无尘车间洁净度标准.pdf

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无尘车间工程 /净化设备风淋室 / 空气过滤器 无尘车间洁净度如何确定详细分析 一、净化车间的规格 净化 车 间的规格一般适用于美国联邦规格 No.209B 。这个规格对净化间的环境要素即空气洁净 度、温湿度、室内压等都进行了规格化规定。但是,伴随着洁净化程度的不断提高,美国联邦规格 进行了改版, 其内容主要是以洁净度进行分类。 必威体育精装版版已成为 No209E ,名称也进行了变更。 No.209E x 3 的级别表示是把 0.5um 以上的颗粒数为 10 个/m ,把 X 表示成级别,同时加上米制 M 的意思,表 示成 M3.5 等等。在表 7 里表示的是美国联邦规格 No.209B ,表 8 表示的是美国联邦规格 No.209E 。 在日本,相应的规格是 JIS B9920 。JIS9920 的级别表示是把 0.1um 以上的 颗粒数规定为 10X 个, 用 Y 表示级别。表 9、图 2 表示了 JIS B 9920 的级别的主要内容。 表 7 美国联邦规格 No.209B 净化间 粒子 室内压力 温度 湿度 气流 照度 级别 粒径 累计粒 Pa 范围 推荐 值 差 高 最 误差 换气次数 子数 2 (℃) (℃) (℃) (% ) 低 um mmH O % % 100 ≧0.5 100 +13 19.4— 22.2 45 30 (+1.3 ) 25 层流方式 1080- 1000 ≧0.5 1000 以上 ±2.8 ±10 0.45m/s -1620 ≧5 10 特 别 特 别 ±0.1m/s 10000 ≧0.5 10000 时 为 时 为 非层流方 ≧5 65 ±1.4 ±5 式 100000 ≧0.5 100000 ≧20 次/h ≧5 700 表 8, 美国联邦规格 No.209E 的 洁净度级别分类 级别上限值是各级别名。上限值用指定粒径以上的浓度(单位堆积粒子数)表示。 * 级别名称 **

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