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无尘车间工程 /净化设备风淋室 / 空气过滤器
无尘车间洁净度如何确定详细分析
一、净化车间的规格
净化 车 间的规格一般适用于美国联邦规格 No.209B 。这个规格对净化间的环境要素即空气洁净
度、温湿度、室内压等都进行了规格化规定。但是,伴随着洁净化程度的不断提高,美国联邦规格
进行了改版, 其内容主要是以洁净度进行分类。 必威体育精装版版已成为 No209E ,名称也进行了变更。 No.209E
x 3
的级别表示是把 0.5um 以上的颗粒数为 10 个/m ,把 X 表示成级别,同时加上米制 M 的意思,表
示成 M3.5 等等。在表 7 里表示的是美国联邦规格 No.209B ,表 8 表示的是美国联邦规格 No.209E 。
在日本,相应的规格是 JIS B9920 。JIS9920 的级别表示是把 0.1um 以上的 颗粒数规定为 10X 个, 用
Y 表示级别。表 9、图 2 表示了 JIS B 9920 的级别的主要内容。
表 7 美国联邦规格 No.209B
净化间 粒子 室内压力 温度 湿度 气流 照度
级别 粒径 累计粒 Pa 范围 推荐 值 差 高 最 误差 换气次数
子数 2 (℃) (℃) (℃) (% ) 低
um mmH O %
%
100 ≧0.5 100 +13 19.4— 22.2 45 30
(+1.3 ) 25 层流方式 1080-
1000 ≧0.5 1000 以上 ±2.8 ±10 0.45m/s -1620
≧5 10 特 别 特 别 ±0.1m/s
10000 ≧0.5 10000 时 为 时 为 非层流方
≧5 65 ±1.4 ±5 式
100000 ≧0.5 100000 ≧20 次/h
≧5 700
表 8, 美国联邦规格 No.209E 的 洁净度级别分类
级别上限值是各级别名。上限值用指定粒径以上的浓度(单位堆积粒子数)表示。 *
级别名称 **
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