西安理工大学《半导体集成电路》培训教材.pptx

半导体 集成电路;;;P-Si;;相关知识点;;;;在硅衬底上制作MOS晶体管;;;;;;;;;;;;;自对准工艺;;;;;CMOSFET;;掩膜1： P阱光刻;具体步骤如下： 1．生长二氧化硅（湿法氧化）：;氧 化;2．P阱光刻：;2021/1/25;硼掺杂（离子注入）;2021/1/25;离子源;掩膜2： 光刻有源区;;;;掩膜3： 光刻多晶硅;;掩膜4 ：P+区光刻 ;;掩膜5 ：N+区光刻 ;;掩膜6 ：光刻接触孔;;2021/1/25;;;Example: Intel 0.25 micron Process;Interconnect Impact on Chip;掩膜8 ：刻钝化孔;双阱标准CMOS工艺;;;BiCMOS工艺分类;以P阱CMOS工艺为基础的BiCMOS工艺;以N阱CMOS工艺为基础的BiCMOS工艺; ;三、后部封装 （在另外厂房） （1）背面减薄 （2）切片 （3）粘片 （4）压焊：金丝球焊 （5）切筋 （6）整形 （7）所封 （8）沾锡：保证管脚的电学接触 （9）老化 （10）成测 （11）打印、包装; ;三、后部封装 （在另外厂房）;2021/1/25;作业：;9、有时候读书是一种巧妙地避开思考的方法。1月-211月-21Monday, January 25, 2021 10、阅读一切好书如同和过去最杰出的人谈话。21:08:5121:08:5121:081/25/2021 9:08:51 PM 11、越是没有本领的就越加自命不凡。1月-2121:08:5121:08Jan-2125-Jan-21 12、越是无能的人，越喜欢挑剔别人的错儿。21:08:5121:08:5121:08Monday, January 25, 2021 13、知人者智，自知者明。胜人者有力，自胜者强。1月-211月-2121:08:5121:08:51January 25, 2021 14、意志坚强的人能把世界放在手中像泥块一样任意揉捏。25 一月 20219:08:51 下午21:08:511月-21 15、最具挑战性的挑战莫过于提升自我。。一月 219:08 下午1月-2121:08January 25, 2021 16、业余生活要有意义，不要越轨。2021/1/25 21:08:5121:08:5125 January 2021 17、一个人即使已登上顶峰，也仍要自强不息。9:08:51 下午9:08 下午21:08:511月-21