光刻技术历史与发展.doc

PAGE 1 - PAGE 1 - 编号 河南大学2010届本科毕业论文 光刻技术历史与发展 姓 名： 作者学号：1003618023 所在学院：所学专业：电子信息科学与技术 导师姓名： 导师职称：讲师 摘要 光刻工艺是集成电路最重要的加工工艺，他起到的作用 如题金工车间中车床的作用，光刻机如同金属加工工车间的车床。在整个芯片制造工艺中，几乎每个工艺的实施，都离不开光刻的技束。光刻也是制造IC的最关键技术，他占芯片制造成本的35%以上。在如今的科技与社会发展中，光刻已经每年以百分之三十五的速度增长，他的增长，直接关系到大型计算机的运作等高科技领域，现在大型计算