03微电子芯片技术.pptx

1）所能加工的最小线宽； 2）晶片直径； 3）DRAM（动态随机存储器）所储存的容量。 ;1，小尺寸器件会带来哪些问题，如何解决？ ;复习;1）介电常数k比Si3N4(k7)大的材料称为高介电常数材料。 随着特性尺寸的减少，需要用合适的高介电常数材料传统的电容介质材料二氧化硅以减少介质层厚度增加电容。大k值介电材料可以用于制造非易失铁电随机存取存储器(FeRAM),如钛锆铅(PZT)或钽锶铋(SBT)。 2） k值比SiO2（k3.9）小的材料称为低介电常数材料。 使用低介电常数材料替代传统的绝缘材料二氧化硅，使得连线之间难于传递电压；;诺贝尔物理奖;§2. 微电子芯片技术发展对材料的需求;半导体存储器有两大体系： 易失性存储器，例如SRAM和DRAM，在没有电源的情况下都不能保存数据。但拥有高性能，易用等优点。 非易失性存储器，像EPROM,EEPROM和FLASH，能在断电后仍保存数据。但由于所有这些存储器均起源自只读存储器(ROM)技术, 所以它们都有不易写入的缺点。;9、要学生做的事，教职员躬亲共做；要学生学的知识，教职员躬亲共学；要学生守的规则，教职员躬亲共守。7月-217月-21Friday, July 2, 2021 10、阅读一切好书如同和过去最杰出的人谈话。08:43:1608:43:1608:437/2/2021 8:43:16 AM 11、一个好的教师，是一个懂得心理学和教育学的人。7月-2108:43:1608:43Jul-2102-Jul-21 12、要记住，你不仅是教课的教师，也是学生的教育者，生活的导师和道德的引路人。08:43:1608:43:1608:43Friday, July 2, 2021 13、He who seize the right moment, is the right man.谁把握机遇，谁就心想事成。7月-217月-2108:43:1608:43:16July 2, 2021 14、谁要是自己还没有发展培养和教育好，他就不能发展培养和教育别人。02 七月 20218:43:16 上午08:43:167月-21 15、一年之计，莫如树谷；十年之计，莫如树木；终身之计，莫如树人。七月 218:43 上午7月-2108:43July 2, 2021 16、提出一个问题往往比解决一个更重要。因为解决问题也许仅是一个数学上或实验上的技能而已，而提出新的问题，却需要有创造性的想像力，而且标志着科学的真正进步。2021/7/2 8:43:1608:43:1602 July 2021 17、儿童是中心，教育的措施便围绕他们而组织起来。8:43:16 上午8:43 上午08:43:167月-21 2??Our destiny offers not only the cup of despair, but the chalice of opportunity. (Richard Nixon, American President )命运给予我们的不是失望之酒，而是机会之杯。二〇二一年六月十七日2021年6月17日星期四 3、Patience is bitter, but its fruit is sweet. (Jean Jacques Rousseau , French thinker)忍耐是痛苦的，但它的果实是甜蜜的。10:516.17.202110:516.17.202110:5110:51:196.17.202110:516.17.2021 4、All that you do, do with your might; things done by halves are never done right. ----R.H. Stoddard, American poet做一切事都应尽力而为，半途而废永远不行6.17.20216.17.202110:5110:5110:51:1910:51:19 5、You have to believe in yourself. Thats the secret of success. ----Charles Chaplin人必须相信自己，这是成功的秘诀。-Thursday, June 17, 2021June 21Thursday, June 17, 20216/17/2021 ? ;;信息功能材料 §2. 微电子芯片技术发展对材料的需求 §2.4 存储电容材料;所有的DRAM基本存储单元都是由一个晶体管和一个电容组成。大量存储单元组成存储矩阵。 ;信息功能材料 §2. 微电子芯片技术发展对材料的需求 §2.4 存储电容材料/DRAM的结构示意图;铁电存储器（FRAM）产品将ROM的非易失性数据存储特性和RAM的无限次读写、高速读写以及