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雷射干涉仪操作手册
明江贸易股份有限公司编制
手 册 内 容
一.RENISHAW 公司简介 1
二.雷射干涉仪原理 2
(1)波的速度 3
(2)干涉量测原理 3
(3)雷射干涉仪 4
(4)雷射干涉仪一般量测项目 4
三.注意事项 5
四.雷射干涉仪防止误差及保养 5
(1)雷射干涉仪防止误差 5
(2)雷射干涉仪保养方法 6
五.安全及注意事项 6
六.雷射光原理及特性 7
七.雷射硬件介绍 8
八.雷射架设流程图 15
九.定位量测原理及操作 16
(1)线性定位量测原理 16
(2)量测方式 17
十.雷射易发生之人为架设误差 20
(1)死径误差 20
(2)余弦误差 21
(3)阿倍平移误差 21
十一 .雷射操作之步骤 22
(1)软件安装之步骤 22
(2)执行量测软件 22
(3)定位量测硬件架设之操作
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