V-Master VOC去除装置培训资料.ppt

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* ???ENG ????? ??: ??/?? V-Master (Rotor Type – VOC 去除装置 ) (?) Shinsung ENG 目录 V-Master V-Master 评价事例 VOC的影响 2 1 3 分析技术保有现状 4 生产业绩 5 1. VOC的影响 Adhesion of Contaminants to the glass surface  → A Factor of Lower Productivity Clean Room 内污染因子 Particle Moisture/Oxygen Metals Dopants VOCs Basic (NH3) Acid VOC的影响 ① 在玻璃表面上形成粒子或薄膜 ② 引起玻璃表面的疏水化,而结晶效率降低 ③ 蚀刻不均现象 ④ 光学设备镜头上发生不纯物质 对制造环境的影响 VOC 物质的影响 Confidential VOC 发生过程 TFT 工艺流程图 刻蚀 光阻 去除 清洗 成膜 清洗 光阻 涂布 曝光 显影 玻璃基板上薄膜沉积 Sputter :金属膜 PECVD : 半导体膜/绝缘膜 玻璃基板上的异物去除 由掩模照射UV光 掩模 用Stripper去除光阻 未被保护的薄膜将通过刻蚀去除 WET ETCH : 金属膜 DRY ETCH : 半导体膜/绝缘膜 溶解的光阻去除 玻璃基板上光阻涂布 薄膜上的异物去除 VOC 发生 Confidential Color Filter 制造工程 VOC 发生过程 ? ? ? ? (Inspection) ? 清 ? 洗 (Cleaning) Mask SUBSTRATE Al DC Al Al Al Al Ar + Al Ar + TARGET SPUTTER R F H Si Si N Si N H Si H H H N N H H H H H PECVD ? 成 ? 膜 (Deposition) PR 光阻 ?? 涂布 (PR Coating) ? 曝 ? 光 (Exposure) ? 显 ? 影 (Develop) ? 刻 ? 蚀 (Etch) ? 剥 ? 离 (Strip) WET ETCH DRY ETCH F O Si SiF 4 Si PLASMA Gas RF Color PR Color PR ?? 涂布 (Colored PR Coating) ? 曝 ? 光 (Exposure) ? 显 ? 影 (Develop) BM BM Red Green Blue ITO Glass B A Patterning 流程详细图 (Detailed Patterning Process) Patterning A Patterning A Patterning B Patterning B Patterning B VOC 发生 Confidential VOC 处理方法 技术名 原理 适用 特点 热氧化 700~900℃温度上燃烧 大部分 燃烧性气体 高浓度玻璃, 运营费用高, 装置耐用性低 浓缩法 VOC浓缩(5~20倍) 以有机 气排出 大部分 燃烧性气体 风量减少, 运营费用少 吸附法 利用活性炭 或 沸石进行 吸附 大部分 恶臭与异味 预处理(酮, 醛, 酯) 并需要再生装置 催化燃烧 利用催化剂在 200~400℃时 燃烧 大部分 燃烧性气体 去除效率高, 运营费用低, 需要更换催化剂, 催化剂毒(As, P, Pb, Si) 生物过滤器 生物性分解 大部分 恶臭与异味 需要防冻设施, 大容量处理困难 冷凝法 冷却与凝缩 高沸点物质 有点除却高浓度物质 化学结晶法 酸碱中和 酸/碱性 需要酸/碱性 排水装置 Confidential 2. V-Master 处理扇 处理区 再生区 冷却区 ROTOR 加热器 再生扇 预滤器 什么是V-Master? ?利用VOC Rotor对空气中的VOC进行持续的吸附再生式去除方法。 V-Master 运转方式 1) 处理区 : 对空气中的VOC进行吸附的区域 2) 再生区: 将附着在Rotor上的VOC通过高温进行解析并脱离的区域 3) 冷却区: 将由于高温脱离变热的再生区冷却到洁净室的空气的区域 通过冷却区的rotor冷却,空气加热 (加热器的电力消耗减少) 4) 加热器 : 将通过冷却区的预热空气加热到再生温度的区域 200 CMM 25℃, 8.4 g/kg’ VOC 0.2 ppm↓ 除去率 90%以上 HEPA Filter Heater 处理区 冷却区 再生区 12 CMM 110℃ VOC 2.0 ppm 12 CMM 210℃

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