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微电子器件工艺学序言赵岳联系电话:mail: mailto:zhaoyue1976@zhaoyue1976@地址: 电子材料系319室或210室微电子科技的重要性微电子技术已经渗透到社会的各个领域,影响面极广,发展微电子技术是当今高科技发展的关键问题微电子科学是固体物理,微电子器件工艺和电子学基础上发展起来的一门新科学微电子工业是战略性工业它是技术密集型产业;是投资密集型产业;是电子工业中的重工业。微电子产业的发展规模和科技水平是衡量一个国家综合实力的重要标志。发达国家国民经济生产值增长部分的55%与微电子有关。半导体工业的构成半导体工业包括材料供
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