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热蒸发镀膜机操作流程.pdfVIP

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edition 热蒸发镀膜机操作流程 提示:钨舟1:铝粒;钨舟2:钛粒;钨舟3:金粒;钨舟4:预留。请勿混用。 记录本上需要记录必要的信息,比如在多少压强下镀了多厚的什么样品,花了 多少时间抽到这个压强。 仪器出问题及时联系刘亮 热蒸镀机整体结构 开启 1. 开气路:打开所有气体开关(CDA 为压缩空气,用于所有气动阀,氮气用于破真空,氩 气用于清洗基片,氧气视

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