PI工艺流程京东方.pptx

;PI工序主要是在TFT CF基板上涂上一层取向膜,从而为液晶分子在取向膜上形成取向打下基础。 PI工序的工艺流程如下： 玻璃基板从loader处流入，先经过cleaner对玻璃基板进行清洗，清洗完后在coater处涂布PI液，在PRE CURE处挥发部分溶剂，在Inspection处检测涂布效果，在MAC/MIC处宏观抽检印刷涂布效果（主要用肉眼观察检查看有没有白点，黑点，Pinhole，Mura等），微观抽检并测量印刷涂布效果（主要用光学镜头测量Edge Margin（板边距离）来检查对位情况）。检查后的良品进入MAINCURE处进行挥发溶剂使PI固化，固化后的玻璃基板流入Unloader. ;Loader处有四个Port口，其中三个Port口为normal口，一个口为Dummy口专门存放Dummy用。;Cleaner （清洗机）总述： 1Cleaner（清洗机）作用是在PI涂布之前对玻璃基板进行清洗，清除玻璃基板上的污渍，杂质，灰尘等脏东西。为涂布出良好的取向膜做好准备。如果涂布之前清洗机清洗效果不好或者残留有Particle的话，在Coater处就会有不良品出现。 2Cleaner部分主要分为Wet wash（湿洗）部和Dry wash（干洗）部。 ;APP;;Hyper-Mix（混合）;HPS（ high pressure shower）;IR;;CPO;;Table;;版酮;;工作台;Doctor roll压入量;一、工艺设备相关—— Pre cure;Inspection工作原理： 当glass流过时camera对基板进行扫描。camera对流过的glass进行连续拍照，计算机记录拍下的数据，然后把数据进行分析，以一个点为基准和相邻的点进行对比，当有异常时计算机自动记录下坐标位置，并以红点的形式显示在屏幕上，当点击异常PANEL上的坐标时，显微镜自动找到异常位置，可以在显示器上观看是什么不良。;Scan Camera;;Inspection：检出配向膜印刷缺陷及印刷膜外观、膜厚均一性 主要不良：配向膜漏印、膜厚不均、印刷位置、异物、划伤、基板 裂纹等;一、工艺设备相关——Main Cure;IR (Infrared Ray) Heater 方式 由Air Pre-Heater向Chamber内部逐步通入 N2 Gas预热方式;一、工艺设备相关——Unloader ;1、TFT和CF进行Sortering处理，保证TFT和CF配对的良率;PI REWORK用化学洗剂来去除GLASS表面的PI膜 ;1、用来测量GLASS的PI膜厚 ;二、PI主要不良;一、工艺设备相关;一、工艺设备相关;一、工艺设??相关;THANK YOU;9、春去春又回，新桃换旧符。在那桃花盛开的地方，在这醉人芬芳的季节，愿你生活像春天一样阳光，心情像桃花一样美丽，日子像桃子一样甜蜜。8月-218月-21Monday, August 30, 2021 10、人的志向通常和他们的能力成正比例。18:39:2418:39:2418:398/30/2021 6:39:24 PM 11、夫学须志也，才须学也，非学无以广才，非志无以成学。8月-2118:39:2418:39Aug-2130-Aug-21 12、越是无能的人，越喜欢挑剔别人的错儿。18:39:2418:39:2418:39Monday, August 30, 2021 13、志不立，天下无可成之事。8月-218月-2118:39:2418:39:24August 30, 2021 14、Thank you very much for taking me with you on that splendid outing to London. It was the first time that I had seen the Tower or any of the other famous sights. If Id gone alone, I couldnt have seen nearly as much, because I wouldnt have known my way about. 。30 八月 20216:39:24 下午18:39:248月-21 15、会当凌绝顶，一览众山小。八月 216:39 下午8月-2118:39August 30, 2021 16、如果一个人不知道他要驶向哪头，那么任何风都不是顺风。2021/8/30 18:39:2418:39:2430 August 2021 17、一个人如果不到最高峰，他就没有片刻的安宁，他也就不会感到生命的恬静和光荣。6:39:24 下午6:39 下午18:39:248月-21