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POL不良分析LogicTree
问题点
1次原因
2次原因
3次原因
改善Point
偏光板 资材不良
C/R和 一般 Zone的泄露
因排气压下部异物流入
排气Duct Line的 位子选定
Air Knife Setting条件
Air Knife不的腐蚀
1,2次 Filter技能低
1,2次 Hose的污染
POL Cutting Burr
POL 表面Burr
黏着剂成分 砷酸
包装材
材质,交换周期
磨损差异发生
断面 磨损发生
Wiper磨损
经常M/C 实施
没带外手套
M/C后 清扫方法
清扫部位
问题发生 根本原因 改善
措施时间长期化
设备开放时 PM状态
作业工具类 异物聚层
PM 品质意识未具备
交换次数
作业环境 污染
M/C
DOWN,Error措施
资材交换
清净度
空管空间
上部排气方式
侧面排气方式
管理Point化 未设定
按周期点检不足
交换周期未设定
交换周期未设定
Maker制造 不良
Maker制造 不良
黏着剂 选定
管理不足
材质变更,周期设定
防尘服 部分磨损
磨损防尘服交换
Wiper材质 变更
设备对应力不足
手表面 附着异物去除
基准设定不足
基准设定不足
基准设定不足
问题发生 原因改善
设备开放
Air Shower后 设备措施
工具类 附着异物 去除
品质 改善意识 自觉
设备投入量 少量
POL工程 清净度 上升
漏泄部Sealing
排气位置变更
排气位置变更
最佳Setting条件 设定
设备状态管理
交换周期设定
交换周期设定
入库检查强化
入库检查强化
黏着材质 改善
管理规定设定
材质改善,交换实施
带保护口
防尘服月间管理
超细纤维Wiper 适用
设备对应力上升
M/C前洗手义务化
管理规定设定
管理规定设定
管理规定设定
设备别,项目别 改善
发生防止及早日对应
Air Shower义务化
实施周期清扫
异物Loss OP,PM教育
设备对应力增大
塑料Curtain 适用
材料
方法
线头 不良 原因 分析 Logic Tree
附 录
Air Knife部 污染
线头
环境
防尘服,内手套
WIPER
品质意识
问题点
1次原因
2次原因
3次原因
改善Point
没有去除Chip
刀刃断面状态不良
刀刃磨损
刀刃角度 Setting
刀刃回转数
刀刃的使用次数
去除时间
去除力的差异
刀刃结团偏移
异物的大小
受台部平衡度
死角地带
封口异物的黏性
空旋转时去出异物不足
洗净Mechanism的 不合理
Brush Roller的 再流入
Sponge Roller的 再流入
移送Roller 通过时 固定
用翻转机 再附着
用受台吸着 在附着
洗净力低
Panel表面 附着
Brush 死角地带
Brush 磨损程度
Brush去出力
接触点的多大
Roller数的过大
去除Chip之后 残留
干燥部 移送Roller
Maker 制造不良
材质选择的适当性
因加工空差的偏移
去出速度的适当性
磨损速度的不明确
不合理的 Tact减少
旋转Moment
Shaft,Gear 偏移
Scribing工程上问题
初期Setting Miss
旋转Moment
Program Teaching
去除力比黏性大
Air 喷射速度及方向
S/R,B/R的位置选定
Roller 使用周期
Roller 使用周期
Panel方向的力作用
Panel方向的力作用
垂直方向的力作用
自然水,纯水水量
自然水,纯水水压
自然水,纯水喷射构造
表面涨力作用
直径选择的合理性
材质选择的合理性
旋转速度低
Panel的稳定性
Panel的稳定性
设备
入库检查 强化
刀刃 材质改善
JIG状态管理
最佳速度适用
制定交换基准
Line Balance
去除力的均匀
设备状态管理
P1,P2 工程改善
设备状态管理
Floating构造变更
Teaching值调整
UV工程改善
喷射构造 改善
Mechanism对应
交换周期设定
交换周期设定
上部移送Roller去除
Chip去除后 Air喷射
受台形象变更
水量增大
水压增大
喷射构造改善
界面润滑剂改善
周密度增大
材质变更
速度增大
接触点缩小
Roller数调整
玻璃粉,封口 不良 原因 分析 Logic Tree
玻璃粉
封口异物
Brush Roller效果不足
移动中发生
CST内部异物
因振动 异物
上板Pad部 Chip残存
P2 Panel Chip多量
Scribing 状态不良
Grinding 状态不良
封口异物流入
P1 Ch
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