IC工艺技术11IC制造中的质量控制.pptx

集成电路技术讲座 第十一讲;内容;前言－质量目标;前言－实现质量目标的措施;（一）成品率和成品率模型;成品率;成品率;成品率趋势图（例）;成品率趋势图（例）;影响成品率的因素;成品率模型－泊松模型;成品率模型－墨菲(Murphy)模型;成品率模型－(Seed)模型;缺陷尺寸和致命性;缺陷的尺寸分布和致命性;按层次细分的成品率模型;缺陷密度趋势图（例）;成品率和芯片面积（例）;（二）制造环境－沾污控制;沾污的类型;颗粒;金属杂质;重金属杂质沾污;光电导法测少子寿命;清洗条件和寿命;spv;碱金属杂质沾污;氧化层沾污（可动电荷）监控;CV法测氧化层电荷;静电释放(ESD);静电释放(ESD)的防止;（三）工艺设计优化－试验设计;试验设计;刻蚀试验的全因素试验;刻蚀试验的正交矩阵(OA);刻蚀试验的试验参数;L8 OA试验刻蚀结果;方差分析;数据分析例;（四）统计过程控制(SPC)Statistical Process Control;工艺受控的概念;正态分布函数;X　控制图;控制图;SPC流程;控制图失控判据;工序能力指数 Ck和 Cpk;（五）设备状态的控制 Offline QC;设备状态的控制;扩散炉温度稳定性1175℃ 24hr ?T1℃;Boat in后温度变化;扩散炉升温特性;扩散炉降温特性;方块电阻控制图（重复性）;多台扩散炉匹配;BOE腐蚀速率控制图;氧化层厚度均匀性监控;氧化层厚度均匀性监控（三维）;（六）产品工艺的控制　On-line QC;产品工艺的控制　;质量控制计划;基区刻蚀后CD控制图（例）;外延厚度控制图（例）;（七）PCM在质量控制中的作用;;;PCM图形;PCM图形;PCM图形内容（双极）;范德堡法测薄层电阻;Pinch电阻 ;测埋层电阻和深磷电阻;PCM图形内容（双极）;接触链图形;金属爬台阶图形;基区电阻倾向图;注入电阻倾向图;（八）低合格率圆片原因分析;低合格率圆片原因分析 ;低合格率圆片分析（例1）;低合格率圆片分析（例1）;低合格率圆片分析（例2）;低合格率圆片分析（例2）;低合格率圆片分析（例3）;9、春去春又回，新桃换旧符。在那桃花盛开的地方，在这醉人芬芳的季节，愿你生活像春天一样阳光，心情像桃花一样美丽，日子像桃子一样甜蜜。8月-218月-21Monday, August 30, 2021 10、人的志向通常和他们的能力成正比例。18:27:1618:27:1618:278/30/2021 6:27:16 PM 11、夫学须志也，才须学也，非学无以广才，非志无以成学。8月-2118:27:1618:27Aug-2130-Aug-21 12、越是无能的人，越喜欢挑剔别人的错儿。18:27:1618:27:1618:27Monday, August 30, 2021 13、志不立，天下无可成之事。8月-218月-2118:27:1618:27:16August 30, 2021 14、Thank you very much for taking me with you on that splendid outing to London. It was the first time that I had seen the Tower or any of the other famous sights. If Id gone alone, I couldnt have seen nearly as much, because I wouldnt have known my way about. 。30 八月 20216:27:16 下午18:27:168月-21 15、会当凌绝顶，一览众山小。八月 216:27 下午8月-2118:27August 30, 2021 16、如果一个人不知道他要驶向哪头，那么任何风都不是顺风。2021/8/30 18:27:1618:27:1630 August 2021 17、一个人如果不到最高峰，他就没有片刻的安宁，他也就不会感到生命的恬静和光荣。6:27:16 下午6:27 下午18:27:168月-21