全自动超声波清洗机作业指导书.docxVIP

工序号 工程名称 Standard Operation Procedure 设备介绍 超声波清洗 适用机台 主界面 V { 55 J BVll 清洗监控 文件编号 JD-SOP-QXJ-001 …部门一签名/日浙 编制 标准工时 制订日期 审核 修订日期 作业类型半自动 版本号 批准 人员配置 贝码 全自动超序波清洗机 ⑥平安 ? 5性自SS焉殊 *客诉/异常提示 实时报警与历史报警 操作帮助 清洗参数 调试参数 中控 ；DI . ? —— nW 1 「 Wl FfYH W 温度控制 文件编号 JD-SOP-QXJ-002 制订日期 修订日期 部门签名/Fi期 绝制 工程部 标准工时 生产部 审核 质量部 图二 序号 操作步骤 作业类型手动 版本号 ;A0 批,准 签名 日期 人员配置 技术标准 页码 1/1 检查气阀、纯水和R0水阀是否翻开与关闭。如图 检查设备前方水阀是否处于正确位置“如图二 检查窗户是否处于关团状态，将设备周围与设备 外表清洁干净。 开机前三阀门翻开，关机后三个阀门处于关闭状态 药剂槽配置溶液完毕后阀门常闭，出水阀 常闭。其余槽进水阀常开，出水御常闭。 无灰尘脏污. 检查超声波装置是否正常。如图四 检黄链条是否不够润滑，清洗槽周围是否存在服 污。如图三 接通电源，开机。如图五 无灰尘脏污。 图三 图四 序号 图五 图六 8 运行方式选择自动.加热方式选择一键加热。 序号 考前须知 1 工作时必须穿戴指套， 2 小心不要被钳片，功刀划伤. 7 观察是否存在报警异常状况。如图六 无报警。 修订内容 修订人 修订日期 图一 工序号 设备名称：I 工艺编制与选择 全自动超声波清洗机 文件编号 制订日期 修订日期 版本号 页码 JD-SOP-QXJ-004 A0 1/1 编制 审核 批准 部门 工程部 生产部 质量部 签名 签名/日期 日期 标准工时 作业类型 人员配置 手动 1 图一 序号 操作步骤 技术标准 1 点击主界面参数设置，迎入工艺参数设定界面 2 将1.时间设定为要求时间.温度设定为要求温度 3 将超声电流设定为规定值。 选定程序进行清洗。 程序3为楔角片清洗工艺程序 程序4为常规产品清洗工艺程序 程序5为大片工艺光刻完清洗工艺 图二 序号 考前须知 1 工作时必须穿戴指套. 2 小心不要被钳片，四刀划伤。 工序号 5 产品名称: 清洗作业指导书 文件编号 JD-SOP-QXJ-005 编制 部门 生产部 签名/日期 序号 1 2 T~ 制订日期202X/1/1 技术部 修订日期 202X/1/1 审核 质量部 版本号 A0 批准 签名 页码 1/1 标准工时 30min 物料编号 操作步骤 作业类型 半自动 物料名称 基片 将待清洗产品放入清洗架子中。如图I 将浦洗架放入清洗篮中。如图2 将装有清洗架清洗篮放入传送带上，按下按钮。 如图3 选择程序进行洁洗。观察控制面板板参数是否正 常有无异常提般。如有紧急停止等控制措施。如 图4 超声功率观察是否在3. 5.如图5 日期 人员配置 1 物料规格 50.8*50.8 技术标准 单位 片子吻合固定无倾斜相连不牢”轻拿轻放 产品不可碎裂. 必须放入清洗篮。 观察水位是否存在报警：（空槽3.5A） 清洗完成在后面传送带取出.如图6 将产品取出放入干;争周转盒中。流入卜道工序。 帝高温手套 周转盒不允许放在地上，不允许不盖盖子。不允许直接接触产品外表。 序号 修订内容 序号 1 ~2 ~3 设备工装型号图纸编号 超声波清洗机 清洗架 ~~清洗篮 序号 考前须知 装架清洗时注意不要碰撞产品导致产品破裂. 清洗完成时带高温手套防止烫伤. 飞一轻食轻放，切勿颇簸产品。 修订人 修订日期 4 标识清楚勿混料。