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提纲：
Anode layer ion source的基本结构和演化
正交场放电，为什么是阳极层？
阳极层加速原理，溅射的影响，离子束的发射效率与放电模式（低压/高压）的关系。
在DLC中应用的难点
短路？在一些电介质薄膜沉积中呢？
Physics and engineering of crossed-field discharge devices—Abolmasov
正交场放电器件可分为下图所示几个类型，图中每种构型都满足漂移形成闭合路径。三种主要构型为：圆柱、环形和平面构型。被约束在漂移路径内的电子行程足够长，增加了对本底气体的离化几率。
电子的漂移运动形成
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