离子束加工原理特点及其应用研究.doc

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PAGE 6 PAGE 1 本科课程论文 题 目离子束加工原理特点及其应用研究 学 院 专 业 机械设计制造及其自动化 年 级 2012 学 号 姓 名 指 导 教 师 成 绩 2014年 12 月 10 日 目录 TOC \o 1-3 \h \z \u 1 前言 1 2 离子束加工的原理 2 3 离子束加工的优缺点 2 3.1离子束加工的优点 2 3.1.1加工精度高 2 3.1.2污染少、无氧化 3 3.1.3对材料影响小 3

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