全自动硅片装片机.docx

|精. |品. |可. |编. |辑. |学. |习. |资. |料. * | * | * | * | |欢. |迎. |下. |载.  概述 GZP-2A 全自动硅片装片机 使用说明书 无锡双川科技有限公司 1 主要用途和适用范畴 将方形硅片放入 25 片篮具内以供下一工序使用； 2 产品特点 ZPJ-2X 全自动硅片装片机主要由设备本体、篮具升降系统、上料为升降系统、上料位、皮带传送机构、掌握面板、硅片分取系统构成； 本产品型号组成：“ ZPJ”代表装片机， 2X 代表 2 个工位 2 个吸盘；执行标准 Q/AH318-1998《产品型号的命名》； |精. |品. |可. |编. |辑. |学. |习. |资. |料. * | * | * | * | |欢. |迎. |下. |载. 3 品种 全自动装片机， ZPJ-2X； 4 使用环境条件1）环境温度： 15~35 摄氏度；2）相对湿度： 60%，无凝露；3）四周环境：无腐蚀性气体； 5 工作条件 产品工作电源为单相三线制电源，并有压缩空气源； 6 对环境及能源的影响本产品对环境及能源无污染； 7 本产品所执行的标准编号 GB191-1990 包装储运图示标志 GB4793.1-1995 测量掌握和试验室用电气设备的安全要求 Q/AH 117-2002 产品标牌 Q/AH 318-1998 产品型号的命名 结构特点及工艺流程 1 结构特点 ZPJ-2X 全自动硅片装片机主要由设备本体、篮具升降系统、上料升降系统、上料位、皮带传送机构、掌握面板、硅片分取系统构成； 1） 设备本体：结构稳固，机身喷塑处理； |精. |品. |可. |编. |辑. |学. |习. |资. |料. * | * | * | * | |欢. |迎. |下. |载. 篮具升降系统：利用步进系统进行精确定位 上料升降系统：利用步进系统进行精确定位 上料位：可进行适当调剂 皮带传送机构：传送带选取对硅片无损耗和无污染的材料，采纳导向机构，确保硅片顺当精确的进入篮具； 掌握面板：采纳 26 万色真彩显控触摸屏 硅片分取系统： 气嘴分别位于硅片两侧， 在吸盘真空开头后略微下降上料台， 供应足够空间让粘连硅片分开； 吸头采纳的是 PEEK 材质，不会损耗硅片表面； 2 工艺流程 工艺流程示意图（图１） 图 1 1)将硅片放置与上料位； 2)步进电机带动硅片向上移动到指定位置； 3）凸轮电机执行器带动吸盘运动到吸片位置； |精. |品. |可. |编. |辑. |学. |习. |资. |料. * | * | * | * | |欢. |迎. |下. |载. 吹气分别装置开头工作； 吸盘吸取硅片，并轮番把硅片放置于两侧的传送带上； 传送带开头工作，把硅片送入到篮具中； 主要技术参数及功能 3． 1 外型尺寸：约 930（ L）x 830(W) x 1550(H) (mm) 3． 2 装片效率： 2000~2400 片/小时3． 3 碎片率： 1/1000 4 工位数：双工位 5 设备兼容 156x156mm、125x125mm 两种规格的硅片 功率、重量 4． 1 功率： 500W 4． 2 重量：约 200Kg 运输和安装 1 安装 安装调试前，应先仔细检查设备及其附件，检查是否有破坏或遗漏的部分； 设备必需水平放置，安装时通过调整地脚螺栓，使设备达到水平； 3 连接电源、气源等； 4 根据要求对设备进行良好接地； 使用、操作 1 使用前的预备与检查 |精. |品. |可. |编. |辑. |学. |习. |资. |料. * | * | * | * | |欢. |迎. |下. |载. 1 检查设备妥当安装，并将机器调至水平位置； 2 将全部电源开关及电器开关置于“关”位置，检查电源是否合乎要求，机壳接地是否牢靠； 3 检查供应的氮气、压缩空气压力是否满意要求； 设备面板上由一个启动按钮（绿色） 、一个停止按钮（红色）、一个急停按钮（红色蘑菇按钮）和触摸屏构成； 左边有一个报警蜂鸣器、台面上有左右两个篮具复位按钮； 确认设备正常后，打开电源开关，松开急停按钮显示开 始画面如下（图 2）：如使用完毕可以按下停止按钮 （红色），紧急情形下可以按下急停蘑菇按钮，再关闭电源 开关； GZP-2A全自动硅片装片 无锡双川科技有限公司 |精. |品. |可. |编. |辑. |学. |习. |资. |料. * | * | * | * | |欢. |迎. |下. |载. 联系电话： 0510-8102715888 延时几秒后进入系统手动画面（图 3）； 2．3 手动状态 “手动状态”注释表 1 旋转停止 /启动 按下凸轮旋转开头 /再按下凸轮旋转停止旋转吹气