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SEM和EDS的现代分析测试方法;第二节 电子束与固体样品 相互作用;;五.特征X射线
六.俄歇电子
七.阴极荧光
八.电子束感生电效应
1.电子束感生电导信号
2.电子束感生电压信号
;;;第四节 SEM的构造;一. 电子光学系统;1. 电子枪
2. 聚光镜(电磁透镜)
3. 光阑
4. 样品室;;几种类型电子枪性能;二. 扫描系统;三. 信号检测放大系统;检测器类型;四. 图象显示和记录系统;五. 电源系统;六. 真空系统; 第五节 SEM的主要性能一. 分辨率 ;漫散射;二. 放大倍数;SEM中透镜的作用:;三. 景深;第六节 SEM的样品制备;一. 导电材料试样制备;观察表面,特别是各种断口间
隙处存在污物时,要用无水乙
醇、丙酮或超声波清洗法清理
干净。
4. 故障构件断口或电器触点处存
在的氧化层及腐蚀产物,不要
轻易清除。 ;二. 非金属材料试样制备;三. 生物医学材料试样制备;第七节 SEM的应用;一. 在金属材料方面的应用;第二章 电子探针显微分析仪(EPMA)第一节 概述;第二节 特征X射线检测;莫塞莱定律:; 波谱仪组成
检测系统
放大系统
信号处理系统
显象系统等;波长分散法原理图;波长色散X射线谱仪示意图;二. 能谱法(EDS);2. 能谱仪组成
检测系统
信号放大系统
数据处理系统
显示系统
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