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基于标准化的集成电路设计与制造研究 摘要：集成电路是关系经济社会发展安全的战略性新兴产业。本文在对我国集成电路标准化现状进行分析的基础上，构建了包括设计、制造、封测等所有关键环节在内的全产业链模式集成电路标准体系。该体系将为提升南京市集成电路产业标准化水平、促进产业高质量发展提供技术支撑。 1 引言集成电路是电子信息技术的核心，是支撑经济社会发展、保障国家安全的战略性、先导性和基础性产业。标准体系是一定范围内的标准按照其内在联系形成的科学有机整体，为产业生产、经营和管理提供全面、系统、规范的技术支撑和管理方法南京作为江苏省省会、国家规划确定的东部地区重要中心城市、长三角特大城市，长期以来高度重视区域内集成电路产业的发展。2019年，《南京市打造集成电路产业地标行动计划》发布，提出了“打造全省第一、全国前三、全球有影响力的产业地标，把南京建设成世界知名的晶圆制造基地、独具特色的射频等第三代半导体创新基地和国际重要的集成电路创新中心”的战略目标。2020年，《南京市推进产业链高质量发展工作方案》明确聚焦集成电路等八大产业，组建工作专班，着力做大产业规模、做高产业能级、做强产业竞争力。为了进一步发挥标准化在经济社会发展中的基础性、战略性作用，急需建立南京市集成电路产业技术标准体系，以体系为基础明确标准现状、识别重点方向、构建服务体系，为南京市集成电路产业标准化水平的提升和高质量发展提供有效支撑。2 集成电路产业标准化基本现状2.1 标准化组织我国集成电路标准化工作的主要负责单位为全国半导体器件标准化技术委员会-集成电路分技术委员会（SAC TC78/SC2）。其工作一方面是对国际集成电路标准化组织IEC TC47/SC 47A的相关标准进行转化，另一方面是对集成电路通用化、系列化产品制定一系列优选系列品种及测试方法基本原理的标准2.2 标准数量在国内标准化组织和集成电路企业的共同努力下，我国集成电路相关标准不断增多。从全国标准信息公共服务平台的数据看，目前TC 78归口的国家标准和行业标准达215个，TC 203归口的国家标准和行业标准达430个。但是由于这两个组织针对的都是半导体大类，平台并未对其归口的标准进行产品分类，因此尚不能从其中简易地定位出集成电路标准。另一方面，国内还存在众多现行的集成电路标准是非经TC 78或TC 203归口的，尤其是一些地方标准、行业标准或集成电路应用类标准。2.3 标准体系建设国内尚未见官方发布的集成电路标准体系或建设指南。部分学者公开发表过对集成电路标准体系建设的观点。例如：杨素心对集成电路用硅材料现状及标准体系进行过分析3 南京市集成电路产业技术标准体系构建思路南京市集成电路产业技术标准体系的构建有两个主要目的。一是服务企业，方便产业链不同环节的企业准确、全面地定位到与自身业务相关的标准；二是支撑发展，以标准体系为基础明确集成电路产业不同环节标准发展现状，进而为提升标准化水平、促进产业高质量发展提供依据。围绕主要目标，我们以集成电路设计、制造、封测三大产业链核心环节为主，连同基础共性标准和应用标准，构建标准体系的第一层级；以产品、材料、设备、生产与检测方法等过程要素为主体，构建标准体系的第二层级；根据二级子体系各单元的标准丰富度，视需要构建更细分的三级甚至四级子体系。具体的构建模式如图1所示。4 南京市集成电路产业技术标准体系内容4.1 标准体系框架南京市集成电路产业技术标准体系共划分为“A基础共性标准”“B产品与设计标准”“C芯片制造标准”“D封装测试标准”“E应用标准”五个部分，如图2所示。4.2 标准体系详细说明4.2.1 基础共性标准基础共性标准用于统一集成电路相关概念、规范集成电路企业的建设与管理，包括“术语”“绿色生产”“基础设施建设”三个部分。“术语”标准包括集成电路产品及其生产所用的材料、设备和工艺等术语、分类和命名规范，用于明确定义、避免概念混淆。“绿色生产”标准包括集成电路企业特定的能源或资源消耗规范、清洁生产规范、职业病防护规范等，为企业的安全运行和可持续发展提供指导。“基础设施建设”标准包括集成电路企业特定的厂房、线体和配套设施建设规范，为基础设施的规划、设计、施工、验收等提供依据。4.2.2 产品与设计标准产品与设计标准包括集成电路的外形尺寸设计、电路结构设计等要求，也包括产品的性能、功能要求和测试规范。该子体系分为“设计技术基础”“基础产品规范”和“特定产品规范”三个部分，既是集成电路设计的重要依据，也是贯穿集成电路生产、封测乃至应用全过程的重要参考。“设计技术基础”包括集成电路设计所用的软件工具、语言、符号、图形等技术基础标准。“基础产品规范”从集成电路的基本类型出发，分为“总