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微加工技术——刻蚀简介
自从半导体诞生以来，很大程度上改变了人类的生产和生活。半导体除了在计
算机领域应用之外，还广泛地应用于通信、网络、自动遥控及国防科技领域。
本文主要介绍半导体制造工艺中的刻蚀工艺。 随着半导体制造大规模集成电路技
术的发展，图形加工线条越来越细，硅片尺寸越来越大，对刻蚀工艺的要求也
越来高。因此，学习了解刻蚀工艺十分必要。本文将主要从刻蚀简介、刻蚀参
数及现象、干法刻蚀和湿法刻蚀四个方面进行论述。
1、刻蚀简介
1.1 刻蚀定义及目的
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