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优秀论文 未经允许  审核通过 切勿外传 安徽职业技术学院毕业论文 ( 设计 ) (2008 届) 设计题目 中能硅业探索 化工系 生物化工工艺 生化 821 班 周超 徐灏溪 2011 ． 03.22 目 录 摘 要 ,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,, 4 英 要 ,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,, 第 一 述 ,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,  文 章  5  4  摘 概 1.  多  晶  硅  的  概 念,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,  5 2. 国  内  多 晶 硅 产 业  概  况 及 未  来 发 展,,,,,,,,,,,,,,,,, 第 二 章 艺 ,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,  . 5 多 晶 硅 的 7  生 产 工 2.1 改良西门子法的简 介,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,  7 2.2 三 氯 氢 硅 氢 还 程 ,,,,,,,,,,,,,,,, 2.3 生 产 多 料 ,,,,,,,,,,,,,,,,,,,, 三 氯 质,,,,,,,,,,,,,,,,,,,, 氢 质,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,, 2.4 生 产 多 晶 硅  原 反 应 基 本 工 艺 流 7 晶 硅 主 要 原 9 氢 硅 的 性 9 气 的 性 11 的 原 料 质 量 要 求,,,,,,,,,,,,,,,,, 第三章 SiHCI  3 氢还原反应  ,,,,,,,,,,,,,,,  12  12 理  3.1 ,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,, 3 ． 2  多 SiHCI3  晶 氢 还  硅 原 反  反 12 应 的  应 原 影 响 因 素  ,,,,,,,,,,,,,,,  13 3．2．1 氢还原反应沉积温度 ,,,,,,,,,,,,,,,,,,,, 13 3． 2． 2 混合气配 比,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,, 14 3． 2． 3 反应气体流 量,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,, 15 3． 2． 4 还原反应时 间,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,, 16 3． 2． 5 硅表面 积,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,, 16 3． 2． 6 硅棒电流电压的关 系,,,,,,,,,,,,,,,,,,,, 17 3.3 还原炉结构示意 图,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,, 17 3.4 还 原 炉 生 产 过 程 物 料 衡 算,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,, 18 3.4.1 三 氯 氢 硅 的 流 量 及 流 速,,,,,,,,,,,,,,,,,,,, 18 3.4.2 氢 气 的 流 量 及 流 速,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,, 19 3.4.3 混 合 气 体 的 流 量 及 流 速,,,,,,,,,,,,,,,,,,,, 19 第 四 章 多 晶 硅 的 质 量 标 准 ,,,,,,,,,,,,,,,,,,,, 19 4． 1 硅棒质量问题及原 因,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,, 19 4.2 多 晶 硅 的 用 途 ,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,, 20 第 五 章 致 谢 ,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,, 21 参 考 文 献 ,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,, 22 摘 要 多晶硅是单质硅的一种形态。通过化学或者物理方法使硅原子以金刚 石晶格形态排列成许多晶核，如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒，则这 些晶粒结合起来，就结晶成多晶硅。 还原是将经提纯和净化的三氯氢硅与氢气混合通入还原炉中，在 1080℃～ 1150℃下将还原出来的多晶硅沉积的发热体的硅芯上。从而得到 纯度很高的单质硅。 而在生产多晶硅的过程中涉及很多的变量因素，都能影响到多晶硅产 品的质量和纯度问题，本篇论文主讲在多晶硅的还原生产过程中，如何控 制温度，及为获得一定的收率，如何控制流量配比等主要的影响因素，从 而能够在生产过程中更好的提高产品的纯度。 关键词： 多晶硅，三氯氢硅，氢气，还原炉 Abstract Polycrystalline silicon is a new shape. Through chemical or physical method makes silicon atom to diamond arranged into many nuclei lattice form, such as these grow nuclei