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高压强电离真空计的校准
生 1
物理学院 学号: 1000010027
真空泛指低于一个大气压的气体充满的空间状态. 常用的真空度测量仪
器多利用金属热导率, 电阻率或气体被电子电离产生的粒子流等与压强有
物理量经与标准绝对真空计校准定标后间接指示待测压强值. 在电离真空计中,
阴极发射的电子被阳极栅(相对阴极为正100~150V)加速后具有一定能量与气体
分子作电离碰撞, 使气体电离. 所产生的正离子被
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