COMSOL-Multiphysics-MEMS专题介绍精选讲义.pdf

2010年中国区用户年会 COMSOL Multiphysics MEMS与声学专题介绍 中仿科技高级技术工程师 岳德刚 （Danry Yue ） 内容安排 • MEMS研究领域 • COMSOL Multiphysics MEMS 与微流体 -传感器、执行器、换能器 -微流体 • 声学研究领域 • COMSOL Multiphysics 声学应用 - 电声设计、超声应用、建筑声学 -噪声控制、声固耦合…… • 典型案例 COMSOL 产品 COMSOL MULTIPHYSICS® 低频电磁场 结构力学 化学反应工程 LIVELINK™ FOR STRUCTURAL MECHANICS CHEMICAL REACTION SOLIDWORKS ® AC/DC MODULE MODULE ENGINEERING MODULE 高频电磁场 声学 电池与燃料电池 LIVELINK™ FOR AUTODESK® INVENTOR® RF MODULE ACOUSTICS MODULE BATTERIES FUEL CELLS MODULE 微机电 传热 地球科学 LIVELINK™ FOR ® PRO/ENGINEER MEMS MODULE HEAT TRANSFER MODULE EARTH SCIENCE MODULE 等离子体 计算流体力学 CAD IMPORT MODULE PLASMA MODULE CFD MODULE 优化 材料库 LIVELINK™ FOR MATLAB® OPTIMIZATION MODULE MATERIAL LIBRARY MEMS • 什么是MEMS –Micro: 小尺度 –Electro: 电磁现象 –Mechanical: 移动、变形 –Systems: 集成于一起 • MEMS建模 –MEMS 器件 –MEMS 中的各种物理现象 –微流系统 • 对MEMS建模就是对多物理场建模 COMSOL Multiphysics与MEMS • 电-结构 –静电 –压电效应 –压阻效应 –电容计算 •