电感式传感器(电涡流式传感器)..pdf

电感式传感器 ( 电涡流式传感器 ) 电感式传感器是利用被测量的变化引起线圈自感或互感系数的变化， 从而导致线圈电感 的改变这一物理现象来实现测量的。在 MPS 的第二站上就有电感式传感器，我们用它来检 测摆臂偏转到位的状态。 电感式传感器可以分为自感式和互感式两大类。 自感式电感传感器可分为变间隙型， 变 面积型和螺管型三种类型。 电涡流式传感器是一种建立在涡流效应原理上的传感器。 电涡流式传感器可以对表面为 金属导体的物体实现多种物理量的非接触测量，如位移，振动，厚度，转速 ，应力，硬度 等。电涡流式传感器特别是有非接触测量的优点， 因此在工业生产和科学技术的各个领域中 得到了广泛的应用。 当通过金属体的磁通发生变化时， 就在导体中产生感生电流， 这种电流在导体中是自行 闭合的， 这就是所电涡流。 电涡流的产生必然要消耗一部分能量， 从而使产生磁场的线圈阻 抗发生变化， 这一物理现象称为涡流效应。 测量电路有电桥电路和谐振电路两种， 谐振电路 又分调幅和调频检测两种。 测量位移： 电涡流传感器可用于测量各种形状金属零件的动、 静态位移。 采用此种传感 器可以做成测量范围为 0~15um，分辨率为 0.05um 的位移计，也可以做成测量范围为 0~500mm， 分辨率为 0.1%的位移计。凡是可以变换为位移量的参数，都可用电涡流传感器来测量。这 种传感器可用语测量气轮机主轴的轴向窜动、金属件的热膨胀系数、钢水液位、纱线张力、 流体压力。 测量振动： 电涡流传感器可无接触地测量各种振动的幅值， 如用来监控气轮机主轴径向 振动。在研究轴的振动时可以用多个传感器测量出轴的振动形状。