PECVD测试题分析和总结.pdf

一 选择题 （4 个选项中只有一个是正确的，请将正确答案 填入括号内 ,每题 5 分） 1 PECVD 工序的目的是为了在硅表面形成一层致密的薄膜， 薄膜的组成部分主要是（ A ） A.氮化硅 B.氧化硅 C.五氧化二磷 D.磷硅玻璃 2 PECVD 的反应气体中含有氨气（ NH3 ），在形成等离子体 后 H 离子的主要作用是（ D ） A.形成薄膜 B.控制薄膜的折射率 C.控制薄膜的厚度 D. 硅片的表面钝化 3 PECVD 工艺完成后， 硅片表面的镀膜颜色发白， 下列哪些 措施可以缓解这种情况（ D ） A 增加温度 B 增加镀膜时间 C 增加 NH3 流量 D 减少压力 4 下列哪些对硅烷的描述是错误的（ D ） A 在空气中可以自然 B 可以与氯、氟发生剧烈反应 C 吸入后会引发头晕、 恶心 D 硅烷引起的燃烧可用水来熄灭 5 下列哪些对氨气的描述是错误的（ C ） A 与空气混合会形成爆炸性气体 B 低浓度的氨气对粘膜有 刺激性作用 C 皮肤接触后可以用酒精擦拭 D 吸入氨气后应离开现场至空气新鲜处 二 填空题 每题 5 分 1 当石墨舟使用了一段时间后，表面沉积了很厚的 氮化 硅 ，影响舟壁与 硅片 的接触，从而影响镀膜的 质量，因此要进行石墨舟的清洗。 2 向清洗机一侧的槽内加入一定量的 氢氟酸 ，适量加 入纯水使液面高度大约在 30—40cm ，并向另一侧的槽加入纯 水。 3 Si N 膜的颜色随着它的厚度的变化而变化，表面呈现的理 3 4 想颜色是 深蓝色 .Si N 膜的折射率会随着 NH3 3 4 量的变化而变化 . 4 装卸片时，片盒的 H 面朝向 自己 ，放进石墨舟里 先将舟下方的 卡点 固定好，然后向一方将硅片倾斜 卡在上方的卡点上。 5 将舟插满后，检查 硅片 是否与舟壁贴紧，是不是卡 在 三个卡点上 。把硅片放入卸片盒时动作要轻， 最大程度的减小硅片 与片盒的撞击 。 三 简答题 每题 10 分 1 什么是 PECVD，请解释其中文意思，并且简单描述其原理 2 请 简 单 描 述 硅 烷 和 氨 气 的 反 应 ， 生 成 物 ， 及 其 目 的 （3SiH4+4NH3→ Si3N4+12H2，次式为硅烷和氨气的反应方程 式） 3 请简述 PECVD工序员工基本操作的简单流程 4 简要描述， PECVD工艺中的钝化作用 5 PECVD的岗位职责描述（员工与工段长分开写，请注明职 位）