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薄膜电路
在抛光的陶瓷基片、微晶玻璃基片或者 Si 基片上溅射电阻播磨和导电薄膜，经电镀、
光刻、 形成具有部分无源元件和导体电路的基片， 贴装芯片和各种片状元件， 键合无相连接
成特定功能的电路模块。
电路元件：晶体管、二极管、电阻、电容、电感等以及引线。尺寸小于 1um。
材料：金属半导体、金属氧化物、多金属混合相、合金、绝缘介质等
工艺：真空蒸发、溅射、电镀工艺。
各种材料：
基片： 高频损耗（随温度和工作频率升高而增加） 、介电常数（越大电路尺寸越小，利于集
成，不利于加工） 、表面光洁度（影响电路损耗，薄膜附着力，线条分辨率） 、基片平整度和
翘度 （小于 0.0001in/jn ）、化学稳定性 （微晶玻璃避免 Ti/Pt/Au 系统）、热膨胀系数、 热导率、
加工难度。
Al2O3 陶瓷基片、 微晶玻璃 BeO 基片 AlN 基 复 合 介 质
片 基片
75% 95-96 99-99.5% 光敏微晶 粉末毒，适于 太贵 聚 四 氟 乙
% 玻璃微波 高功率电路和 烯 掺 假 陶
低端 有源器件热沉 瓷粉
ε 8.0 9.3 9.7 5.5-6 6.8-7.1 10
介质损 10*10 -4 3*10 -4 1*10 -4 25.8*10 -4 5-2*10 -4 2*10 -3
耗
热导率 12 21 33.5 （37 ） 0.91 250 140-230
W/m.K
-6 -6 -
热膨胀 7*10 7~11*10 2.65*10
6
系数
CTE
光洁度 Δ12- Δ13 光洁度
高、易于
加工
主要尺 35*35*0.5 ，40*40*0.4 ， 35*35,38*
寸 mm 30*60*0.8 38,40*40,
厚 0.3~0.4
加工：
超声波打孔 激光打光
优点 质量好、壁直、圆滑，可打陶瓷基 位置精准、可编程、效率高，可打异型孔，
片、微晶玻璃，最小 0.5mm 尺寸可为 0.2mm
缺点 定位差、效率低 设备贵。
清洗：去油去腊（甲苯、丙酮、乙醇超声 5min 以内），去金属离子（酸碱煮） ，水洗，乙醇
洗、烘干。
金属层 用于多层金属化工艺，制备电路和元件
（1）电阻膜
TaN 、NiCr 合金及金属陶瓷
TaN （氮化钽） NiCr(80:20)
耐高温
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