镀膜工艺简介.pdf

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真空镀膜工艺简介 多维科技有限公司-生产部 2012年2月 目录 • 真空 • 等离子体 • 镀膜 2 真空 •气压单位和换算 • 分子密度 1 Torr = 3.2 x1016 molecules/cm3 • 平均自由程 l (cm) ~ 5/P (

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