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真空镀膜工艺简介
多维科技有限公司-生产部
2012年2月
目录
• 真空
• 等离子体
• 镀膜
2
真空
•气压单位和换算
• 分子密度
1 Torr = 3.2 x1016 molecules/cm3
• 平均自由程
l (cm) ~ 5/P (
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