最全面SEM操作步骤.pdf

精品 pdf资料 欢迎下载 - - - - - - - - - - - - - - - 扫描电子显微镜（ SEM ）SHIMADZU SS-550 的规范操作步骤 一． 启动系统 1． 打开计算机，登陆用户帐号 operater，输入密码 sem； 2 ． 打开桌面上的软件 SS-550”,打开菜单 file 单击 online，出现对话框 “do you want to initialize the stage 单击“yes”,”； 3． 单击控制面板中的 position ，选择“Z-WD ”； 4 ． 加高压 单击控制面板上的 setting，单击其中的 gun setting，选择 auto saturating beam on 和 current down ，用鼠标将 filament current 划键拖回零点，再点击 atuo saturation now； 5． 合轴 （1）选择 gun setting，单击 alignment，选择 emission pattern，单击工具条上的 十字按钮，调节椭圆光斑的亮度和对比度。 如果椭圆光斑亮度不均，则用鼠标将 filament current 值微调增大至均匀，， 点击 memorize limit, 进行下一步操作。（注：filament current 值变化不能超过 0.15v ） （2）单击 tilt 按钮，用鼠标左键按住光斑中心将其拖至调至十字型中心； （3）选择 trans pattern，单击 trans 按钮，用同样方法将光斑中心调至十字型中 心。 （4）重复步骤（ 1）、（2 ）、（3 ），直至光斑中心在 emission pattern和 trans pattern 状态下都处于十字型中心。 （5）在 gun setting 栏中选择 normal 后，单击 close 按钮关闭 gun setting 窗口。 二、 中间换样品 1 学习资料 精品 第 1 页，共 6 页 - - - - - - - - - - - - - - - - - 精品 pdf资料 欢迎下载 - - - - - - - - - - - - - - - 1、单击 beam on，beam on 键变暗，表示已处于 beam off 状态； 2、初始化 单击 position ，选择 init