光罩版制作工艺简介.ppt

2017-09-18 吴焕;;铬版： （精度高、耐用、价格高）;2、铬版原材结构;铬版原材玻璃，依材质分类：苏打玻璃、石英玻璃、硼硅玻璃；;3、掩膜制作流程;掩膜版的图像形成流程 （除曝光外，其它与一般的黄光过程类似）;4、品质特性与检验;③. DEFECT (缺陷);5、铬版存放要求 铬版为硬掩膜版，为防止其变形，尽量竖直存放。为了保证掩膜版表面的洁 净度，一般要保存在1000 级以上的无尘室内，温度：20~26℃，湿度需维持在 40-60%RH 以内，静电电压控制在500 伏以内。 因为铬版的基材是玻璃，如果需要对铬版长期保存，则需要保持在干燥的环 境里，以防止玻璃出现发霉现象，影响光学性能。 为了尽可能地避免划、碰伤，影响寿命，使用时要轻拿轻放，曝光前必须对 光检查铬版表面是否有硬性颗粒，在曝光过程中也需要经常用净化后的压缩气体清 除铬版表面的玻璃碎片。使用完毕后，应将铬版表面重新清洗洁净，干燥后再保存。;谢谢