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四氟化碳理化特性分析
四氟化碳理化特性分析
PAGE
四氟化碳理化特性分析
四氟化碳理化特性分析（32）
标识
中文名：
四氟甲烷；四氟化碳
英文名：
Tetrafluoromethane；Carbon tetrafluoride
分子式：
CF4 ? 分子量：
CAS号：
75-73-0 ? RTECS号：FG4920000 ?
UN编号：
1982 ? 危险货物编号：22033 IMDG规则页码：2182
理化性质
外观与性状：
无色无臭气体。
主要用途：
用作低温致冷剂及集成电路的等离子干法蚀刻。 ?
熔点：
沸点：
相对密度(水=1)：
-130℃ ?相对密度(空气=1): 无资料
饱和蒸汽压(kPa)：
℃ ?
溶解性：
不溶于水。
临界温度(℃)：
?临界压力(MPa)： ?燃烧热(kj/mol)：无意义
燃烧爆炸危险性
燃烧性：
不燃 ? 建规火险分级：戊
闪点(℃)：
无意义 ? 自燃温度(℃)：无意义
爆炸下限(V%)：
无意义 ? 爆炸上限(V%)：无意义
危险特性：
若遇高热，容器内压增大，有开裂和爆炸的危险。 ?
燃烧(分解)产物：
氟化氢。 ?稳定性：稳定
聚合危害：
不能出现 ? 禁忌物：强氧化剂、易燃或可燃物。
灭火方法：
不燃。切断气源。喷水冷却容器，可能的话将容器从火场移至空旷处。
包装与储运
危险性类别：
第2．2类??不燃气体 ?
危险货物包装标志：
3? 包装类别：Ⅱ ?
储运注意事项：
不燃性压缩气体。储存于阴凉、通风仓间内。仓温不宜超过30℃。远离火种、热源。防止阳光直射。应与易燃、可燃物分开存放。验收时要注意品名，注意验瓶日期，先进仓的先发用。搬运时轻装轻卸，防止钢瓶及附件破损。
废弃：根据国家和地方有关法规的要求处置。或与厂商或制造商联系，确定处置方法。包装方法：钢质气瓶。 ?
毒性危害
接触限值：
中国MAC：未制定标准；苏联MAC：未制定标准；
美国TWA：未制定标准；美国STEL：未制定标准
侵入途径：
吸入
毒性：
无资料
健康危害：
能引起快速窒息。接触后可引起头痛、恶心和呕吐。 ?
急救
皮肤接触：
无资料
眼睛接触：
无资料
吸入：
脱离现场至空气新鲜处。必要时进行人工呼吸。就医。 ?
食入：
无资料
防护措施
工程控制：
生产过程密闭，全面通风。
呼吸系统防护：
高浓度环境中，建议佩带供气式呼吸器或自给式呼吸器。
眼睛防护：
一般不需特殊防护。 ?
防护服：
穿工作服。
手防护：
一般不需特殊防护。
泄漏处置
迅速撤离泄漏污染区人员至上风处，并隔离直至气体散尽，建议应急处理人员戴自给式呼吸器，穿相应的工作服。切断气源，通风对流，稀释扩散。如有可能，即时使用。漏气容器不能再用，且要经过技术处理以清除可能剩下的气体。
其他
避免高浓度吸入。进入罐或其它高浓度区作业，须有人监护。
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