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四氟化碳理化特性分析
四氟化碳理化特性分析
PAGE
四氟化碳理化特性分析
四氟化碳理化特性分析(32)
标识
中文名:
四氟甲烷;四氟化碳
英文名:
Tetrafluoromethane;Carbon tetrafluoride
分子式:
CF4 ? 分子量:
CAS号:
75-73-0 ? RTECS号:FG4920000 ?
UN编号:
1982 ? 危险货物编号:22033 IMDG规则页码:2182
理化性质
外观与性状:
无色无臭气体。
主要用途:
用作低温致冷剂及集成电路的等离子干法蚀刻。 ?
熔点:
沸点:
相对密度(水=1):
-130℃ ?相对密度(空气=1): 无资料
饱和蒸汽压(kPa):
℃ ?
溶解性:
不溶于水。
临界温度(℃):
?临界压力(MPa): ?燃烧热(kj/mol):无意义
燃烧爆炸危险性
燃烧性:
不燃 ? 建规火险分级:戊
闪点(℃):
无意义 ? 自燃温度(℃):无意义
爆炸下限(V%):
无意义 ? 爆炸上限(V%):无意义
危险特性:
若遇高热,容器内压增大,有开裂和爆炸的危险。 ?
燃烧(分解)产物:
氟化氢。 ?稳定性:稳定
聚合危害:
不能出现 ? 禁忌物:强氧化剂、易燃或可燃物。
灭火方法:
不燃。切断气源。喷水冷却容器,可能的话将容器从火场移至空旷处。
包装与储运
危险性类别:
第2.2类??不燃气体 ?
危险货物包装标志:
3? 包装类别:Ⅱ ?
储运注意事项:
不燃性压缩气体。储存于阴凉、通风仓间内。仓温不宜超过30℃。远离火种、热源。防止阳光直射。应与易燃、可燃物分开存放。验收时要注意品名,注意验瓶日期,先进仓的先发用。搬运时轻装轻卸,防止钢瓶及附件破损。
废弃:根据国家和地方有关法规的要求处置。或与厂商或制造商联系,确定处置方法。包装方法:钢质气瓶。 ?
毒性危害
接触限值:
中国MAC:未制定标准;苏联MAC:未制定标准;
美国TWA:未制定标准;美国STEL:未制定标准
侵入途径:
吸入
毒性:
无资料
健康危害:
能引起快速窒息。接触后可引起头痛、恶心和呕吐。 ?
急救
皮肤接触:
无资料
眼睛接触:
无资料
吸入:
脱离现场至空气新鲜处。必要时进行人工呼吸。就医。 ?
食入:
无资料
防护措施
工程控制:
生产过程密闭,全面通风。
呼吸系统防护:
高浓度环境中,建议佩带供气式呼吸器或自给式呼吸器。
眼睛防护:
一般不需特殊防护。 ?
防护服:
穿工作服。
手防护:
一般不需特殊防护。
泄漏处置
迅速撤离泄漏污染区人员至上风处,并隔离直至气体散尽,建议应急处理人员戴自给式呼吸器,穿相应的工作服。切断气源,通风对流,稀释扩散。如有可能,即时使用。漏气容器不能再用,且要经过技术处理以清除可能剩下的气体。
其他
避免高浓度吸入。进入罐或其它高浓度区作业,须有人监护。
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