透射电镜操作程序.pdf

v1.0 可编辑可修改 JEM-100CX Ⅱ透射电镜操作说明 一、开机程序 1、 首先打开房间空调，冷却循环水房温度 21 度，操作室 25 度 2、 开启冷却水循环装置，一个独立的小的控制器，先将开关打至 ON，再将按下 POWER键 3、 启动稳压电源，稳定于 220V；查看电源箱供电指示灯亮 4、 用钥匙启动主机，从 OFF档位旋到 START位，松开后钥匙自动回到 ON位置。仪器自动 抽真空，等待约 40 分钟。 5、 直至 DP绿灯亮， HIGH绿灯亮， READY绿灯亮（若不亮的话，将 LENS LIGHT打至 ON档 位）。 二、电子枪合轴（ 1-3 合轴） 1、 确认 READY绿灯亮 2、 把样品拨出，物镜光栏拨出至 0 档位 3、 加高压：按下 HT键后，依次按下 40-60-80-100KV 键，并注意观察束流表是否正常，每 次都要等电流表显示稳定之后再进行下一步，一般调到 80KV 就行了。 4、 加灯丝：将 FILAMENT EMIISSION旋钮缓慢旋至锁定位置 5、 一般在 SCAN（5300 倍）条件下调节，调节 CONDENSER钮，得到光斑。 6、 SPOTSIZE 调到 3 档，调节 CONDENSER钮聚光，得到最小最亮光斑， 然后用左右 ALIGNMENT： TRANS（小的）将光斑拉至最中心位置（中心位置有一黑点） 。 7、 SPOTSIZE 调到 1 档，调节 CONDENSER钮聚光，得到最小最亮光斑， 然后用 GUNALIGNMENT： TRANS（X、Y）将光斑拉至中心位置。 8、 再重复 6 、7 步骤，使束流不偏离中心。 三、调灯丝相（每次开机都需要检查） 1、 在 SCAN模式下， SPOT SIZE 调到 1 档 2、 将 FILAMENT EMIISSION旋钮稍稍往回调，到看到灯丝欠饱和像，即车轮像（鱼眼像） ， 若车轮像不对称，则进行下面调节。 3、 缓慢旋转 GUN ALIGNMENT：TILT （X、Y），使灯丝像对称。 1 v1.0 可编辑可修改 4、 然后调节 FILAMENTEMIISSION 旋钮至灯丝饱和（即刚好全亮，没有阴影） ，并锁定该位 置。 四、粗对焦（该步很重要） 1、 关灯丝（ FILAMENT EMIISSION旋钮至 OFF）后，插入样品，插入物镜光栏（ 2 档） 2、 开灯丝（ FILAMENT EMIISSION旋钮至 ON）后，放大光斑至满屏（以免烧坏铜网） 3、 找到样品，并选中一目标为参照 4、 将 IMAGEWOBBLER打至 ON，此时看到样品会有一定的晃动，调节 FOCUS旋钮（有大中小 三个，一般只用到中和小）至图像清晰没有重影。 五、聚光镜对中调节 1、关灯丝后，拨出样品，拨出光栏，开灯丝，缩小光斑，检查是否在中心位置， 2、在 SCAN模式， SPOTSIZE 1 档情况下，将 CONDALIGNMENT打到 ON，然后下面一 WOBBLER 键打到 X，以调节光斑重合， 同样的方法进行 Y 轴对中调节， 调节完毕之后打到中间 OFF 档。 3、将 IMAGE WOBBLER键打到 ON，调节 IMAGE WOBBLER A、B 旋钮至重合。 六、电流中心调节（此步调节有一定的难度） 1、插入样品，插入光栏，找到一样品做为参照物，调节时放大倍数小于