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燕山大学
传感器设计说明书
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课题名称：差动变面积式电容位移传感器
班 级：
指导老师：
学生姓名：
摘要
设计差动变面积式电容位移传感器，要求规定的设
计参数。 1、测量范围 （mm）：0~±1mm；2、线性度 （%Fs）：
0.5 ；3、分辨率（μ m）：0.01 ；4、灵敏度（ PF/mm）：
2.3 。通过理论设计、 结构设计、 理论分析等过程设计传
感器结构和测量电路，画出结构示意图和测量电路图，
并进行
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