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IT产业的动力源—— The IT Engine - Microelectronics ;2;3;4;5;6;7;8;9;10;11;12;13;14;15;16;17;18;19;20;21;22;23;24;25;26;27;28;29;30;31;32;33;34;35;36;人类科技进步的回顾;工业革命时代：1733~ 1878年 ;电气时代：1879~ 1946年 ;第一台计算机;电子时代：1947~1972年;晶体管的发明;第一只晶体管的发明;第一块集成电路的诞生;信息时代：1973至今;1980年：VLSI出现（65536~2097152）第二代计算机诞生 1981年：美IBM推出DOS系统（磁盘驱动系统） 1983年：MOTOROLR开通移动电话（蜂窝） 1984年：荷兰飞利浦和日本索尼推出光盘可读存储器——CD-ROM； 第一块EPROM型可编辑逻辑器件（PCD）出现 1985年：光纤通信（一根光纤可同时传递30万个电话）； 开始出现超大规模IC,ULSI（2097152 1990年：交互网全球网出现（瑞士）第六代计算机ULSI,GLSI 1993年：奔腾问世 1994年：数字卫星天线，18寸收175个频道 1995年：微软视窗 1998年：进入特大规模集成电路，GSI2047483648) 1998年7月18日：Intel公司成立30周年（而立之年） Intel公司97年销售额251亿元美元，利润70亿美元 1999年7月：出现PIII600芯片 2002年 SOC 时代 现今, 深亚微米IC时代, 60纳米或更小 ; IT发展的引导性领域——微电子 The IT Edge——Microelectronics; IT发展的引导性领域——微电子 The IT Edge——Microelectronics; 计算机的发展史; IT发展的引导性领域——微电子 The IT Edge——Microelectronics;微处理器发展：; IT发展的引导性领域——微电子 The IT Edge——Microelectronics;计算机的组成：;CPU的组成;55; IT发展的引导性领域——微电子 The IT Edge——Microelectronics;从4MDRAM——4GDRAM的发展;16MDRAM： 88年日本率先推出，92年开始生产 集成度：3×107（个元件） 单元面积：3.6μm2 芯片面积：135mm2 设计规则：0.5μm 圆片直径：200mm2 主要工艺：采用i-线（波长365nμ）步进光刻机，采用选择CVD工艺，化学机械抛光工艺（CMP）等。;64MDRAM： 91年日本研制成功 94年开始生产 集成度：1.4×108 单元面积：1.2μm2 芯片面积：197.5mm2 设计规则：0.35μm 200mm直径 主要工艺：i－??步进光刻机＋相移掩膜 （PSM）技术 低温平面化工艺，全干法低损伤刻蚀工艺 增强型隔离工艺，RTP/RTA(快速热处理/热退火)工艺 高性能浅结工艺，CMP工艺等。;1GDRAM： 95年NEC第一块，2000年开始生产，2004年达高峰 集成度2.2×109，单元面积：0.54μm2，芯片面积900mm2 设计规则： 0.25μm，200mm直径，存贮信息量相当于4000页报纸，约6400万个汉字，数据线输率为400Mb/秒 日立和韩国三星为0.16μm设计规则 主要工艺：X射线刻饰机，分辨率100nm，光源为同步辐射（SOR）和激光等离子体1.5VIC冷却工艺，超线结掺杂（0.05μm）工艺，高介电常数的线电介质工艺；碳化硅异质结工艺，CMP工艺，现场真空直接工艺，实时控制工艺的自动化等。;4GDRAM： 97年日本NEC试制成功，2003年生产，2007年高峰集成度为8.8×109，单元面积0.23μm2，芯片面积：986mm2，0.15μm规则，存储信息相当于一台小型笔记本式PC机容量。;微电子发展的理论基础;物理学革命;1905年，尚在瑞士土层专利局供职的爱因斯坦发表了狭义相对论论文和光量子论文,并终于在 1915年 爱因斯坦建成广义相对论。（爱因斯坦(Albert Einstein,1